[發明專利]雙動鏡干涉儀

無效

• 申請號: 200810017691.0
• 申請日: 2008-03-12
• 公開（公告）號: CN101532880A
• 公開（公告）日: 2009-09-16
• 發明（設計）人: 楊慶華;趙葆常;周仁魁
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G02B17/08
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司
• 代理人: 康 凱

1.?一種雙動鏡干涉儀，包括45度角設置在入射光束光路上的一個分束器，該分束器在入射光束方向上第二個面為半反射面；還包括設置在上述半反射面透射光束光路上的平面反射鏡，所述平面反射鏡與分束器正交；還包括設置在光束光路上的第一動鏡和第二動鏡、以及探測器和將經第一動鏡和第二動鏡反射的光束會聚到探測器上的收集鏡；

其特征在于：

所述的第一動鏡位于所述半反射面的反射光路上，所述的第二動鏡位于所述平面反射鏡的反射光路上；所述的第一動鏡和第二動鏡被一個剛性結構固定在一起，作為一個單獨的運動部件，第一動鏡和第二動鏡相互平行，所述的第一動鏡和第二動鏡與分束器以及平面反射鏡之間的夾角均為45度。

2.?根據權利要求1所述的雙動鏡干涉儀，其特征在于：所述的分束器與平面反射鏡之間的光路上還設置有同時補償各種波長光程差的補償板。

3.?根據權利要求1所述的雙動鏡干涉儀，其特征在于：所述的分束器與第一動鏡之間的光路上設置有玻璃平行平板，該平行平板可減小第一動鏡和第二動鏡之間的距離。

4.?根據權利要求1～3任一所述的雙動鏡干涉儀，其特征在于：所述的剛性結構應滿足其膨脹系數和雙動鏡的膨脹系數相接近。

5.?根據權利要求4所述的雙動鏡干涉儀，其特征在于：所述的收集鏡為會聚透鏡或會聚透鏡組。