[發(fā)明專利]非接觸長行程多自由度納米精密工作臺

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810017204.0
• 申請日: 2008-01-02
• 公開（公告）號: CN101520606A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 毛軍紅;謝友柏
• 申請（專利權(quán)）人: 西安交通大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H02K33/18;B25H1/00
• 代理公司: 西安慈源有限責任專利事務所
• 代理人: 潘憲曾

1.非接觸長行程多自由度納米精密工作臺，包括工作臺基座(1)和與工作臺基座(1)相配合的工作臺動件(2)，其特征在于，在工作臺動件(2)下表面固定有位移傳感器(3、4、5、6)，在工作臺動件(2)下表面還固定有線圈(7、8、9、10)，工作臺動件(2)下表面中心固定有氣浮塊(11)，所說的位移傳感器(3、4、5、6)和線圈(7、8、9、10)交替均勻布置，所說的線圈(7、8、9、10)和加工在工作臺動件(2)上的鐵心，分別構(gòu)成4個獨立的電磁驅(qū)動器，所說的氣浮塊(11)構(gòu)成1個靜壓空氣止推軸承。

2.根據(jù)權(quán)利1所說的納米精密工作臺，其特征在于，所說的位移傳感器(3、4、5、6)的端面與工作臺動件(2)的下表面在同一平面上，工作臺動件(2)上表面是一個完整平面工作臺平面。

3.根據(jù)權(quán)利1所說的納米精密工作臺，其特征在于，所說的工作臺基座(1)和工作臺動件(2)采用導磁材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所說的納米精密工作臺，其特征在于，從工作臺動件(2)的下表面加工了4個安裝線圈(7、8、9、10)的環(huán)形盲孔，中間的圓柱(18、19、20、21)是線圈(7、8、9、10)的鐵心，線圈(7、8、9、10)固定完成后，其端面不高出工作臺動件(2)的下表面，線圈(7、8、9、10)和工作臺動件(2)上的鐵心構(gòu)成4個獨立的電磁驅(qū)動器，電磁驅(qū)動器工作氣隙為鐵心圓柱頂面到工作臺動件(2)底面的距離，取值范圍在0.2mm-0.4mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所說的納米精密工作臺，其特征在于，工作臺動件(2)下表面的中央是一個空腔(22)，在空腔(22)的中心安裝了氣浮塊(11)，固定完成后，其軸承面與工作臺動件(2)的下表面在同一平面上，工作臺動件(2)的四周加工了排氣孔(23、24、25、26)使工作臺動件(2)外部和空腔(22)相通。