[發明專利]基片梯度加熱器無效

申請號：	200810011450.5	申請日：	2008-05-15
公開（公告）號：	CN101307434A	公開（公告）日：	2008-11-19
發明（設計）人：	陸文琪;徐軍;董闖	申請（專利權）人：	大連理工大學
主分類號：	C23C16/00	分類號：	C23C16/00
代理公司：	大連理工大學專利中心	代理人：	侯明遠;李寶元
地址：	116024遼***	國省代碼：	遼寧;21
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摘要：
搜索關鍵詞：	梯度加熱器
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【權利要求書】：

1.基片梯度加熱器，其特征是使用直管形狀的輻射加熱管作為熱源加熱基片臺(1)，加熱管(2)的外徑為8～10mm，熱源利用石英遠紅外輻射或碳纖維輻射；基片臺(1)為厚1～2mm、用金屬或合金材料制成的長方形薄板或梯形薄板，基片臺(1)朝向加熱管的一面與加熱管相距1.5～3mm；基片臺(1)上溫度為梯度分布，基片(6)與基片臺接觸，通過熱傳導獲得熱量被加熱。

2.根據權利要求1所述的基片梯度加熱器，其特征是：殼體(7)用金屬薄板制成雙層結構，雙層金屬殼體中間為空隙或用保溫材料填充。

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