[發明專利]聚合物光刻膠超聲時效的裝置和方法無效
| 申請號： | 200810011210.5 | 申請日： | 2008-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN101276159A | 公開（公告）日： | 2008-10-01 |
| 發明（設計）人： | 杜立群;喻立川;王煜;郭照沛 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | G03F7/26 | 分類號： | G03F7/26;G03F7/40 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 | 代理人： | 侯明遠 |
| 地址： | 116024遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚合物 光刻 超聲 時效 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.聚合物光刻膠超聲時效的裝置，包括超聲波發生器(1)、超聲波換能器(2)、工作臺(3)和外殼(4)，其特征在于工作臺(3)與超聲波換能器(2)相接，工作臺(3)在超聲波換能器(2)上方，外殼(4)支撐工作臺(3)和超聲波換能器(2)懸空。
2.使用權利要求1所述裝置的方法，其特征在于以下步驟：
(一)采用實驗室標準工藝清洗硅片，然后放入烘箱中烘干；烘干后用旋涂法甩SU-8光刻膠，放在熱板上烘干后在紫外光下曝光，然后放在熱板上后烘使SU-8膠交聯；
(二)在后烘之后對膠層進行超聲時效：超聲波發生器(1)發出高頻電信號，與超聲波換能器(2)中的壓電陶瓷相連，促使壓電陶瓷因逆壓電效應而產生振動，再通過超聲波換能器(2)中的變幅桿將振幅放大并傳遞到工作臺(3)上。
3.根據權利要求1所述的聚合物光刻膠超聲時效的裝置，其特征在于工作臺(3)表面有用于固定工件的螺紋孔，由螺釘將涂有光刻膠的硅片卡緊在工作臺(3)上。
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