[發明專利]電離器

有效

• 申請號: 200810008214.8
• 申請日: 2008-02-13
• 公開（公告）號: CN101247696A
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 佐藤俊夫;土屋元
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: H05F3/04
• 分類號: H05F3/04;H01T19/04;H01T23/00
• 代理公司: 北京華夏正合知識產權代理事務所
• 代理人: 韓登營

技術領域

本發明涉及一種用于可消除各種工件所帶靜電的電離器。

背景技術

在半導體晶片和液晶玻璃等各種工件的處理工藝中，使用電離器 除去該工件上所帶的靜電荷。該電離器的工作原理是，通過在電極針 上加正負高壓電使其電暈放電，并將此時產生的正、負離子用空氣流 吹到工件上與靜電荷中和。

對于此種電離器，上述電極針會因灰塵粘附等而易受到污染，隨 著污染的加重，可能會漸漸地較難發生電暈放電，從而產生的離子量 減少，直至不能產生離子。因此，電極針被污染后，每次都必須對該 電極針進行清掃或更換等保養工作，為了將這煩雜的保養工作盡可能 做得簡單且安全，關鍵在于能否簡單安全地將上述電極針從收容部取 出。

日本發明專利公開公報特開2004-228069號中公開了一種易對放 電針(電極針)進行保養的電離器，其電極針單元可相對主體盒裝拆。 該電離器的結構如下，上述主體盒上設置有噴嘴、以及搭載有高電壓 生成電路的印刷電路板，所述噴嘴具有作為離子生成室的空氣噴射 口，該高電壓生成電路用于向上述電極針上加載高壓電，上述電極針 單元可從該噴嘴的后方往上述噴嘴的離子生成室安裝或拆卸。通過采 用上述結構，當上述電極針被污染后，可將上述電極針單元從噴嘴取 出，從而對該電極針進行清掃或更換等。

但是，上述專利文獻中記述的電離器，由于是將搭載有高電壓生 成電路的印刷電路板和連接器等與電有關的部件或部分、以及空氣通 孔和配管用接口等與空氣有關的部件或部分全部組裝到上述主體盒 上，所以上述各部件或部分的設置以及為了實現電絕緣的結構等使得 該主體盒的結構變得復雜同時外形易于變大，另外，還需要安裝有用 于在裝拆上述電極針單元時使電極針與上述高電壓生成電路連接或 分離的結構，因此其結構復雜。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供具有如下結構的電離器，即，將電 極針、高電壓生成裝置等與電有關的部件或部分和噴嘴、空氣通孔、 配管用接口等與空氣有關的部件或部分設計成分開的獨立部件，由 此，使其具有配置容易且結構簡單，同時，可以簡單且安全地對電極 針進行拆裝的合理結構。

為了達成上述目的，本發明提供一種電離器，包括：具有離子生 成用的電極針的電極針插件和具有兼用作電極針收容室的空氣吹出 口的主體模塊，該電極針插件可與主體模塊相連接，并可在上述電極 針處于插入該空氣吹出口內的狀態下，將該電極針插件與主體模塊分 離，而且，在將上述電極針插件和主體模塊連接或分離時，上述電極 針經上述空氣吹出口的后端部側的電極針插入口插入該空氣吹出口 內或拔出，上述電極針插件上設置有可裝拆的上述電極針和用于向該 電極針加載高電壓的高電壓生成裝置，上述主體模塊上設置有對上述 空氣吹出口供給空氣的空氣通孔和將空氣管道與該空氣通孔進行連 接的接口。

本發明優選不用旋轉上述電極針插件，而僅通過使其在前后方向 上滑動，在上述主體模塊上裝拆該電極針插件，并同時使上述電極針 插入上述空氣吹出口或拔出。

另外，本發明優選的方案是，在上述主體模塊的前端部和電極針 插件的前端部形成有凸階梯部，在上述電極針插件的前端部形成有凹 階梯部，上述主體模塊與上述電極針插件相連接時該凸階梯部和凹階 梯部相互抵接，在凸階梯部的位置處形成有上述空氣吹出口，同時， 在凹階梯部的位置處形成有上述電極針。

更加優選的方案是，上述主體模塊具有底座部和電極針插件收容 部，上述底座部上設置有上述空氣吹出口、空氣通孔和接口，上述電 極針插件收容部位于該底座部上方且可收容上述電極針插件，上述底 座部的頂端部上表面上形成有向上凸出的上述凸階梯部，該凸階梯部 的前表面上設置有上述空氣吹出口，同時，該凸階梯部的后表面上與 該空氣吹出口同心地設置有上述電極針插入口，另外，上述電極針插 件具有與上述主體模塊相似的前后方向上的長度，且頂端部下表面上 具有與上述凸階梯部相對應的上述凹階梯部，并且，在該凹階梯部的 位置處以向前方延伸的狀態安裝有上述電極針，通過使上述電極針插 件相對上述主體模塊以上述底座部的上表面為導向沿前后方向滑動 來實現電極針插件的裝拆。

在本發明中，也可以將上述電極針以可裝拆的方式彈性地保持在 具有彈性的可導電電極針座上，該電極針座以可裝拆的方式彈性地安 裝在從上述電極針插件的罩向外部突出的柱狀的供電接頭上。