[發明專利]轉換的均勻性控制

無效

• 申請號: 200810003145.1
• 申請日: 2001-06-08
• 公開（公告）號: CN101241829A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發明（設計）人: R·A·戈特肖;R·J·斯特格爾
• 申請（專利權）人: 蘭姆研究有限公司
• 主分類號: H01J37/00
• 分類號: H01J37/00;H01J37/32;H01L21/00;H01J9/00;H05H1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 楊松齡

1.一種用工藝方法的等離子體形成分量對工件進行加工的方法，包括：

提供加工室，工件在該加工室中被加工，并且加工室包括至少第一加工區和第二加工區，各個加工區代表被加工的工件的一部分；

將等離子體形成分量輸出到加工室的第一加工區中而不用將等離子體形成分量輸出到加工室的第二加工區中，該等離子體形成分量是從加工室的周圍部位被輸出到第二加工室中；

在將等離子體形成分量輸出到第一加工區的步驟和將等離子體形成分量輸出到第二加工區的步驟之間連續進行轉換，以便在加工室的內部的第一和第二加工區中連續產生或保持單一等離子體的時候影響在第一和第二加工區之間的等離子體形成分量的濃度。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括改變在各個加工區之間的等離子體形成分量的數值，使得在第一加工區等離子體形成分量的數值與在第二加工區等離子體形成分量的數值不同。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括設定轉換步驟的定時，使得在第一加工區的輸出定時與在第二加工區的輸出定時不同。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括改變在各個加工區之間的等離子體形成分量的組成，使得在第一加工區的等離子體形成分量的組成與在第二加工區的等加工區的等離子體形成分量的組成不同。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括改變在各個加工區之間的等離子體形成分量的組成比率，使得在第一加工區的等離子體形成分量的組成比率與在第二加工區的加工區的等離子體形成分量的組成比率不同。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

改變在各個加工區之間的等離子體形成分量的數值，使得在第一加工區等離子體形成分量的數值與在第二加工區等離子體形成分量的數值不同；

設定轉換步驟的定時，使得在第一加工區的輸出定時與在第二加工區的輸出定時不同；

改變在各個加工區之間的等離子體形成分量的組成，使得在第一加工區的等離子體形成分量的組成與在第二加工區的等加工區的等離子體形成分量的組成不同；

改變在各個加工區之間的等離子體形成分量的組成比率，使得在第一加工區的等離子體形成分量的組成比率與在第二加工區的加工區的等離子體形成分量的組成比率不同。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，第一加工區對應于工件的中心部分，而第二加工區對應于工件的外圍部分。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括從單一分量源供應等離子體形成分量。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，等離子體分量是用于點燃或保持等離子體的能量。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，輸出等離子體形成分量的步驟包括在加工室內產生電場。

11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于，電場是通過設置在加工室外部的外電極感應耦合到加工室內的。

12.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，等離體形成分量是氣體。

13.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，輸出等離子體形成分量的步驟包括在加工室內釋放氣態源材料。

14.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，等離子體形成分量是連續地輸出到加工室內的。