[發明專利]清潔系統以及清潔一板件的方法

有效

• 申請號: 200810001294.4
• 申請日: 2008-01-17
• 公開（公告）號: CN101486037A
• 公開（公告）日: 2009-07-22
• 發明（設計）人: 徐正賢;蔡志福
• 申請（專利權）人: 南亞電路板股份有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B65H5/06
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 潘培坤;鄭特強

技術領域

本發明涉及一種清潔系統，特別是用于除去一板件的四個側邊上的異物的清潔系統及方法。

背景技術

一般電路板制造過程中，用于倒裝芯片(Flip?Chip)的基板半成品于制作完成后，并未先進行基板側邊除塵的動作，便直接進行下一道曝光制程，于曝光制程中，若是附著于基板側邊的銅屑剝離，容易造成光罩壓墊損傷，并產生曝光雜質進而導致線路短路，不但降低制程的合格率，光罩亦容易損壞。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種清潔系統，其可利用除塵機構進行板件的板邊清潔，除去板邊的異物或灰塵，因此當板件在進行光罩制程時，可大幅降低損傷光罩的可能性，以及提高制程的合格率。

有鑒于此，本發明提供一種清潔系統，用以清潔一板件，其中板件具有一第一側邊、一第二側邊、一第三側邊以及一第四側邊，該第一側邊與該第二側邊為相對邊。清潔系統包括一輸送裝置以及一除塵機構。輸送裝置包括一主體以及多個滾動軸，滾動軸以可旋轉的方式平行設置于主體上。除塵機構設置于主體上，且該除塵機構包括一X軸除塵單元，該X軸除塵單元包括：一導軌，設置于該主體上；兩個固定座，設置于該導軌上；以及兩個X軸清潔機構，以可移動的方式設置于該導軌上，并分別與所述固定座連接，并且所述X軸清潔機構分別包括一黏塵卷、一軸芯及一滑動座，而該黏塵卷能夠于該軸芯上軸向移動，該軸芯設置于該滑動座上，且該滑動座能夠于該導軌上滑動，且當所述黏塵卷受一外力影響時，該黏塵卷帶動該滑動座于該導軌上移動；當板件置放于滾動軸上時，通過滾動軸的轉動可輸送板件，當板件通過除塵機構時，板件的該第一側邊與該第二側邊分別抵頂所述X軸清潔機構以進行除塵。

本發明又提供一種清潔一板件的方法，其中板件具有一第一側邊、一第二側邊、一第三側邊以及一第四側邊，該第三側邊與該第四側邊為相對邊。該方法包括，提供一輸送裝置，輸送裝置包括一主體以及多個滾動軸，滾動軸以可旋轉的方式平行設置于主體上；提供一除塵機構，設置于主體上其中，該除塵機構包括一Y軸除塵單元、一感測單元、一控制單元，該控制單元分別與該感測單元、所述滾動軸以及該Y軸除塵單元電性連接；將板件置放于滾動軸上；轉動滾動軸以移動板件使板件通過除塵機構，且當板件通過除塵機構時，板件與除塵機構接觸以進行除塵，以及當該板件被輸送至一第一位置時，該滾動軸停止滾動，該Y軸除塵單元能夠于該第三側邊與該第四側邊上滾動。

本發明的有益技術效果在于，根據測試的結果，板件在經過本發明的清潔系統除塵后，造成光罩壓墊損傷的比率為0.5％，而未經過除塵的板件所造成的光罩壓墊損傷的比率為2.08％，也就是說，使用本發明的清潔系統可降低76％的光罩壓墊損傷。本發明的清潔系統利用除塵機構進行板件的板邊清潔，除去板邊的異物或灰塵，因此當板件在進行光罩制程時，可大幅降低損傷光罩的可能性，以及提高制程的合格率。

附圖說明

圖1A為本發明的清潔系統的俯視圖；

圖1B為圖1A中沿A-A’切線的剖視圖；

圖2A為本發明的清潔系統的俯視圖；

圖2B為圖2A中沿B-B’切線的剖視圖；以及

圖3為本發明一變化例的示意圖。

其中，附圖標記說明如下：

100清潔系統????100’清潔系統

110輸送裝置????111主體

113滾動軸??????131感測單元

133控制單元????13X?X軸除塵單元

13Y?Y軸除塵單元???140翻板機

150曝光機?????????P板件

P1第一側邊????????P2第二側邊

P3第三側邊????????P4第四側邊

S1彈性元件????????S2彈性元件

X1導軌????????????X2固定座

X3X軸清潔機構?????X31黏塵卷

X32軸芯???????????X33滑動座

Y11前擋板機構?????Y12后推板機構

Y2壓板機構????????Y3Y軸清潔機構

Y31黏塵卷?????????Y32軸芯

Y33滑動座?????????Y34固定座

具體實施方式

參見圖1A、圖1B、圖2A、及圖2B，本發明的清潔系統100用于清潔倒裝芯片的載板P(以下稱板件)的板邊，板邊包括一第一側邊P1、一第二側邊P2、一第三側邊P3以及一第四側邊P4，且第一側邊P1與第二側邊P2為相對邊，而第三側邊P3與第四側邊P4為相對邊。