[發(fā)明專利]管路壓力平衡系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810001062.9
• 申請日: 2008-01-18
• 公開（公告）號: CN101221361A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭為元;陳閔翔;蘇士博;林志遠(yuǎn);陳豊涵
• 申請（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 梁揮;祁建國

1.一種管路壓力平衡系統(tǒng)，用于一光刻膠涂布機(jī)臺，其特征在于，包括：

一噴嘴組件，設(shè)置于該光刻膠涂布機(jī)臺上，用以涂布一光刻膠液；

一排放管路，連接至該噴嘴組件，以排放該光刻膠液；以及

一第一液封壓力平衡瓶，具有一第一短管以及一第一長管，該第一短管連接至該排放管路，該第一長管與該管路壓力平衡系統(tǒng)外界連通，以平衡該排放管路內(nèi)的壓力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該排放管路內(nèi)為負(fù)壓時(shí)，通過該第一長管自該管路壓力平衡系統(tǒng)外界補(bǔ)充氣體至該排放管路，以排放該光刻膠液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該第一液封壓力平衡瓶內(nèi)具有一隔絕液體，該第一長管與該第一短管均伸入于該第一液封壓力平衡瓶內(nèi)，且該第一長管還伸入該隔絕液體中，隔絕該光刻膠液與該管路壓力平衡系統(tǒng)外界的接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該排放管路內(nèi)為正壓時(shí)，能觀察該隔絕液體的一液面高度改變，判定該排放管路內(nèi)是否阻塞。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該排放管路利用重力導(dǎo)流該光刻膠液。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該光刻膠涂布機(jī)臺還包含一光刻膠供給回收系統(tǒng)，連接至該噴嘴組件及該排放管路，用以供給光刻膠至該噴嘴組件，或回收并儲存該光刻膠液。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該光刻膠供給回收系統(tǒng)還包含一回收槽，回收并儲存該光刻膠液。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，還包含一回收管路，該回收槽通過該回收管路連接至該排放管路，回收該光刻膠液。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，還包含一第二液封壓力平衡瓶，具有一第二長管以及一第二短管，該第二長管連接至該回收管路，該第二短管與該光刻膠供給回收系統(tǒng)外界連通，以平衡該回收管路內(nèi)的壓力。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該第二液封壓力平衡瓶內(nèi)具有一隔絕液體，該第二長管與該第二短管均伸入于該第二液封壓力平衡瓶內(nèi)，且該第二長管還伸入該隔絕液體中，隔絕該光刻膠液與該光刻膠供給回收系統(tǒng)外界的接觸。