[發明專利]燈故障檢測器

有效

• 申請號: 200810000075.4
• 申請日: 2008-01-04
• 公開（公告）號: CN101217843A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 歐勒格·V·塞雷布里安諾夫;亞歷山大·戈爾丁;約瑟夫·邁克爾·拉尼什
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: H05B37/03
• 分類號: H05B37/03
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐金國

1.一種用于檢測用于半導體襯底的熱處理的燈組中的燈故障的燈故障檢測裝置，包括：

數據采集模塊，其用于在沿通過一組串聯連接的燈組形成的電路路徑的不同采樣位置處采用電壓信號；以及

控制器，其適于基于經過至少兩個燈的電壓降，如由所采樣的電壓信號確定的，來檢測一個或多個所述燈中的故障。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述一組串聯連接的燈包括兩個以上的燈。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制器適于基于經過第二個燈的零電壓降來檢測第一個燈的開路條件。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，如果經過所述第一個燈的電壓降與經過所述第二個燈的電壓降相差大于閾值，則所述控制器適于檢測所述第一個燈局部短路。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制器適于基于經過一個或多個燈的每一個的零電壓降來檢測多個燈的開路條件。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述數據采集模塊為控制器提供所采樣的電壓信號的數字值。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述采樣的電壓信號是交流電壓信號。

8.一種用于檢測用于半導體襯底的熱處理的燈組中的燈故障的燈故障檢測系統，包括：

多路復用器，其用于接受從沿由多組串聯連接的燈組形成的電路的不同位置所采樣的多個模擬電壓信號；

模擬到數字轉換器，其用于提供對應由所述多路復用器輸出的一個或多個模擬電壓信號的數字值；以及

控制邏輯器，其適于控制所述多路復用器以選擇哪個模擬電壓信號由所述多路復用器輸出以及，對于多組串聯連接的燈組，基于經過至少兩個燈的電壓降，如由采樣的電壓信號所確定的，來檢測所述組的一個或多個燈中的故障。

9.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述控制邏輯器實施為場可編程門陣列。

10.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述控制邏輯器實施為微控制器。

11.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，進一步包括通信接口，其允許外部裝置與所述控制邏輯器通信以接收燈故障檢測數據。

12.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述控制邏輯器適于控制所述多路復用器以順序選擇公共區中多組串聯連接的燈。

13.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述多組串聯連接的燈包括兩個以上的燈。

14.根據權利要求8的所述的裝置，其特征在于，所述控制器適于基于經過第二個燈的零電壓降來檢測第一個燈的開路條件。

15.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，如果經過所述第一燈的電壓降與經過第二燈的電壓降相差大于閾值，則所述控制器適于檢測第一燈局部短路。

16.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述燈是鎢鹵素燈。

17.一種用于檢測用于半導體襯底的熱處理的燈組中的燈故障的方法，包括：

在沿由一組串聯連接的燈組形成的電路的不同采樣位置處，采樣電壓信號；

基于所采樣的電壓信號來計算經過至少兩個燈的電壓降；以及

基于所述電壓降之間的關系來確定是否存在故障。

18.根據權利要求17所述的方法，其特征在于，所述一組串聯連接的燈包括兩個以上的燈。

19.根據權利要求17所述的方法，其特征在于，基于所述電壓降之間的關系來確定是否存在故障的步驟至少包括：

基于經過第二燈的零電壓降來確定存在第一燈的開路條件；以及

如果經過所述第一燈的電壓降與經過第二燈的電壓降相差大于閾值，則確定存在第一燈的局部短路。

20.根據權利要求17所述的方法，其特征在于，多組串聯連接的燈中，電壓降值用于識別哪組具有燈故障。

21.根據權利要求17所述的方法，其特征在于，所述一組串聯連接的燈的電壓降之間的關系用于識別該組的一個或多個燈中哪個發生了故障。