[發明專利]用于彩色濾光片的光敏樹脂組合物及使用其的彩色濾光片

有效

• 申請號: 200780053513.7
• 申請日: 2007-12-31
• 公開（公告）號: CN101689020A
• 公開（公告）日: 2010-03-31
• 發明（設計）人: 李吉成;金宰賢;李昌珉;鄭宜浚
• 申請（專利權）人: 第一毛織株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 吳貴明;張 英

技術領域

本發明涉及一種用于彩色濾光片的光敏樹脂組合物、以及一種使用該光敏樹脂組合物制成的圖像傳感器彩色濾光片。更具體地，本發明涉及一種能夠形成精細方型像素圖案的用于彩色濾光片的光敏樹脂組合物以及使用該光敏樹脂組合物制成的圖像傳感器彩色濾光片。?

圖像傳感器是由數百萬個元素所組成的器件，圖像傳感器根據其接收光時的輻照強度而將光轉成電信號。圖像傳感器安裝在數字輸入器件內，數字輸入器件能夠記錄數字化前影像至數字化影像。近來，為了將這樣的器件應用至各種安全器件及數字防護裝置，對該器件的需求已顯著增加。?

圖像傳感器由像素陣列所組成，像素陣列是以兩維矩陣格式排列的多個像素。每一個像素包括光敏性構件以及傳輸與信號輸出器件。根據傳輸與信號輸出器件，可將圖像傳感器概括地分為兩類：電荷耦合器件(CCD)型圖像傳感器以及互補金屬氧化物半導體(CMOS)型圖像傳感器。?

圖4示出了CMOS圖像傳感器100，以解釋圖像傳感器中的彩色濾光片的作用。作為例子，入射光經過微透鏡1和第二外覆層?

(OCL)3到達彩色濾光片5，并在彩色濾光片5內分成R、G、及B各者。然后，彩色濾光片將光傳送通過第一外覆層(OCL)7、鈍化層9、以及中間金屬介電層(IMD)11，然后傳送至形成在層間介電層(ILD)15上的相應于各個像素的光電二極管13。到目前為止，已積極研究用于在堿顯影劑水溶液中顯影的液晶顯示器(LCD)彩色濾光片的光敏樹脂組合物，而需要對如本發明中的用于圖像傳感器彩色濾光片的光敏樹脂組合物需要進行進一步研究。尤其是，由于單位像素的尺寸從5至3μm的傳統尺寸縮小至1μm或更小以增進數碼相機的圖像質量，需要改變相關材料。?

因此，隨著單位像素的尺寸縮小至1μm或更小，由于單位像素的尺寸達到可見光波長范圍的至多約1.5倍，必須考慮到關于微透鏡的幾何光學與波動光學方面。?

更具體地說，由于單位像素的尺寸縮小，每一個微透鏡的直徑縮小了。因此，除非每一個透鏡的焦點距離縮小，否則分辨率會因為相鄰像素的串擾現象而變差。為了解決這些問題，外覆層從彩色濾光片的下層省去，以縮減微透鏡與光電二極管之間的距離，并在鈍化層(SiN_x)上形成彩色濾光片。可替代地，彩色濾光片可形成在省略了鈍化層的中間金屬絕緣層上。?

在此情況中，每一個RGB像素使圖案殘余物與分辨率特性變差，不像將其制造于常用外覆層上的情況。?

用于圖像傳感器彩色濾光片的器件及方法已經在韓國專利早期公開第2002-039125號、日本專利早期公開平成10-066094號、韓國專利早期公開第1998-056215號、日本專利早期公開平成7-235655號、韓國專利早期公開第2003-056596號、日本專利早期公開第2005-278213號、韓國專利早期公開第2003-002899號、以及日本專利早期公開平成11-354763中進行研究；而且圖像傳感器?彩色濾光片組合物已于韓國專利早期公開第2006-0052171號、日本專利早期公開第2004-341121號、以及日本專利早期公開平成7-172032號中進行研究。韓國專利早期公開第2006-0052171號及日本專利早期公開第2004-341121號披露了一種具有雙鍵的聚合物連同染料，以提供具有高密度的像素，從而可提供2.0×2.0μm的精細圖案。然而，因為該方法使用染料而不是顏料作為著色劑，由于染料的耐旋光性與耐熱性較差的特性，故會導致長期可靠性的問題。此外，在日本專利早期公開平成7-172032號中，為防止各個R、G、及B像素之間的色彩混雜及分離，引入了黑色矩陣。然而，此方法需要另一工藝來設置黑色矩陣，而且基本上不可能提供具有所需精細尺寸的黑色矩陣。由于引進黑色矩陣，該方法還存在開口率減小的缺點。?

發明內容

本發明的一種示例性具體實施方式提供了一種用于彩色濾光片的光敏樹脂組合物以及一種使用該光敏樹脂組合物制成的圖像傳感器彩色濾光片。本發明的另一具體實施方式提供了一種通過提供在堿顯影劑中具有優異的顯影特性并使顏料分散液穩定化而能夠形成1.2μm或更小的精細像素圖案且在未曝光部份上不產生圖案殘余物的用于彩色濾光片的光敏樹脂組合物。?

本發明的另一具體實施方式提供了一種使用該光敏樹脂組合物制成的彩色濾光片。?

本發明的具體實施方式并不限于上述技術目的，本領域普通技術人員可理解其他技術目的。?