[發明專利]帶電粒子分析裝置

有效

• 申請號: 200780052915.5
• 申請日: 2007-05-09
• 公開（公告）號: CN101669027A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 西口克
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62;H01J49/06;H01J49/40
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種帶電粒子分析裝置，具有帶電粒子光學系統，其為了形成用于 使帶電粒子以圓弧形狀飛行的扇形電場，含有將外側電極和內側電極作為 一對的主電極，該帶電粒子分析裝置，在所述外側電極上穿透設置了用于 使帶電粒子通過，或者用于使監視帶電粒子的狀態的電磁波或粒子線通過 的開口，其特征在于，

具有：電場修正電極，在所述開口的周圍，在面向由所述外側電極與 內側電極所夾的空間的位置上配置；

電壓施加機構，其對該電場修正電極施加規定的直流電壓；

通過所述電場修正電極，修正由所述開口所帶來的扇形電場的散亂，

所述開口形成在從離子光軸延伸的直線上，

所述帶電粒子、所述電磁波或所述粒子線沿著該直線從所述開口進行 入射或出射。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子分析裝置，其特征在于

所述電場修正電極有多個，沿著通過所述開口入射出射的帶電粒子、 電磁波或者粒子線的直線狀的光軸排列。

3.根據權利要求2所述的帶電粒子分析裝置，其特征在于

所述電壓施加機構，能對多個所述電場修正電極獨立地施加直流電 壓。

4.根據權利要求1～3的任一項所述的帶電粒子分析裝置，其特征在 于

所述帶電粒子是離子，所述扇形電場形成使離子沿著同一軌道飛行多 次的旋轉軌道，

所述開口使離子從外部入射至該旋轉軌道，或使從該旋轉軌道脫離的 離子出射到外部。

5.根據權利要求4所述的帶電粒子分析裝置，其特征在于

在從所述主電極的端部入射至所述扇形電場或者從所述主電極的端 部出射的直線狀的入射出射光軸的延長線上形成所述開口，根據對所述主 電極的施加電壓，能夠選擇經過所述開口的離子的入射出射、和所述扇形 電場中的圓弧形狀的離子的飛行。