[發(fā)明專利]光伏裝置的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200780052695.6 | 申請日： | 2007-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN101652866A | 公開（公告）日： | 2010-02-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 西村邦彥;松野繁 | 申請（專利權(quán)）人： | 三菱電機(jī)株式會社 |
| 主分類號： | H01L31/04 | 分類號： | H01L31/04 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 裝置 制造 方法 | ||
1.一種光伏裝置的制造方法，其特征在于，包括：
在硅基板上形成具有耐蝕刻性的膜的工序；
通過照射激光光束，在上述具有耐蝕刻性的膜上打開多個微細(xì)孔 而使基底的硅基板表面露出的工序；以及
對上述硅基板所露出的表面進(jìn)行蝕刻的工序，
在使上述硅基板表面露出的工序中，在上述微細(xì)孔的底部露出的 上述硅基板的表面利用激光光束形成微細(xì)凹陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏裝置的制造方法，其特征在于，
上述激光光束是焦點深度被調(diào)整為10μm以上的激光光束。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏裝置的制造方法，其特征在于，
上述微細(xì)孔的直徑小于鄰接的微細(xì)孔彼此的中心間的距離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏裝置的制造方法，其特征在于，
將上述具有耐蝕刻性的膜上打開的多個微細(xì)孔設(shè)置在四邊格子 點上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏裝置的制造方法，其特征在于，
將上述具有耐蝕刻性的膜上打開的多個微細(xì)孔設(shè)置在三角格子 點上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏裝置的制造方法，其特征在于，
在使上述硅基板表面露出的工序中，經(jīng)由具有與上述多個微細(xì)孔 對應(yīng)的光透射部和光遮蔽部的遮光掩模來照射上述激光光束，由此同 時打開上述多個微細(xì)孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏裝置的制造方法，其特征在于，
在使上述硅基板表面露出的工序中，通過電流鏡使上述激光光束 在上述膜上進(jìn)行掃描，由此打開上述多個微細(xì)孔。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
