[發明專利]閥泄漏量診斷法

無效

• 申請號: 200780052646.2
• 申請日: 2007-02-19
• 公開（公告）號: CN101657701A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: J·J·門德爾松;C·A·馬扎;S·阿姆斯博;G·F·康納;E·T·費希爾
• 申請（專利權）人: 布魯克斯器具有限公司
• 主分類號: G01F15/00
• 分類號: G01F15/00;G01M3/28;F17D5/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 王永建

1.一種用于確定使用外部閥安裝到工藝設備中的流量控制器(100) 中的泄漏量的方法，包括：

使用所述外部閥停止通過所述流量控制器(100)的流動；

當所述流量控制器保持與所述工藝設備連接時：

使用熱式質量流量傳感器(102)確定流量；

將所述流量與之前存儲的流量比較，以確定流量控制器(100)的 零點漂移(Qdrift)值；

使用所述熱式質量流量傳感器(102)確定當流量控制閥(100) 處于完全關閉位置時通過流量控制器(100)的第二流量(Qf1ow)；

確定通過流量控制器(100)的泄漏量，其中，泄漏量等于第二流 量減去零點漂移值。

2.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，所述外 部閥從下面的組中選擇：單個外部閥、位于所述流量控制器的入口側的第 一外部閥和位于所述流量控制器的出口側的第二外部閥、單個集成閥、位 于所述流量控制器的入口側的第一集成閥和位于所述流量控制器的出口側 的第二集成閥、泵、減壓閥。

3.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，所述外 部閥被手動控制。

4.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，所述外 部閥被電動控制。

5.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，所述方 法還包括：

在確定通過所述熱式質量流量傳感器(102)的指示流量之前，等待預 定的時間。

6.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，確定通 過所述流量控制器(100)的第二流量(Qflow)還包括：

允許流動通過所述流量控制器(100)；

將所述流量控制器(100)設定到完全關閉位置；

確定通過所述熱式質量流量傳感器(102)的指示流量，以及使所述指 示流量與通過所述流量控制器(100)的第二流量(Qflow)相等。

7.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，所述方 法還包括：

將外部裝置(110)與所述流量控制器(100)連接以及使用所述外部 裝置(110)操作所述流量控制器(100)以確定泄漏量。

8.如權利要求1所述的用于確定泄漏量的方法，其特征在于，所述方 法還包括：

將所述泄漏量與閾值比較；

當所述泄漏量大于所述閾值時建立錯誤狀態。

9.一種測試系統，包括：

具有輸入/輸出端口的流量控制器；

至少一個與所述流量控制器以流體連通的方式聯接、并被構造為停止 物質通過所述流量控制器的流動的截流閥；以及

被構造為與流量控制器的輸入/輸出端口聯接的電子裝置，所述電子裝 置被構造為通過以下方法在所述流量控制器沿著工藝設備的流體供給路徑 保持就位的同時確定泄漏量的值，即，使用熱式質量流量傳感器確定所述 流量控制器的零點漂移(Qdrift)值、使用所述熱式質量流量傳感器確定當 所述流量控制器處于完全關閉位置時通過所述流量控制器的第二流量 (Qflow)、以及確定通過所述流量控制器的泄漏量，所述泄漏量等于第二 流量減去零點漂移值。

10.如權利要求9所述的測試系統，其中所述流量控制器還包括，

流量控制閥；

顯示器；

輸入裝置；以及

與所述熱式質量流量傳感器、所述流量控制閥、所述顯示器和所述輸 入裝置聯接的調節電子裝置，并且所述調節電子裝置被構造為響應于指示 流動通過所述流量控制器的物質流量的由所述熱式質量流量傳感器生成的 信號而調節所述流量控制閥，以使得通過所述流量控制器的物質的設定流 量被保持。

11.如權利要求9所述的測試系統，其特征在于，所述至少一個截流 閥被電動控制。

12.如權利要求9所述的測試系統，其特征在于，所述電子裝置是從 下面的組中選擇的裝置：便攜式計算機、測試裝置、遠程處理器、網絡計 算機。