[發明專利]具有抗反射性能的硬掩模組合物及用其圖案化材料的方法

有效

• 申請號: 200780052470.0
• 申請日: 2007-12-31
• 公開（公告）號: CN101641390A
• 公開（公告）日: 2010-02-03
• 發明（設計）人: 金旼秀;魚東善;吳昌一;尹敬皓;邢敬熙;李鎮國;金鐘涉;田桓承;南伊納;納塔利婭·托克列娃
• 申請（專利權）人: 第一毛織株式會社
• 主分類號: C08G61/12
• 分類號: C08G61/12
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 吳貴明;張 英

1.一種由化學式1表示的含芳香環的聚合物：

其中R₁選自氫、羥基(-OH)、C₁-C₁₀烷基、C₆-C₁₀芳基、 烯丙基和鹵素，R₂選自羥基(-OH)、氨基(-NH₂)、-OR和-NRR’， 在所述-OR中，R為C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，在所述-NRR’ 中，R和R’獨立地為C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，R₃選自：

并且1＜n＜190。

2.一種由化學式2表示的含芳香環的聚合物：

其中R₁和R₄獨立地選自氫、羥基(-OH)、C₁-C₁₀烷基、 C₆-C₁₀芳基、烯丙基和鹵素，R₂和R₅獨立地選自羥基(-OH)、 氨基(-NH₂)、-OR和-NRR’，在所述-OR中，R為C₁-C₁₀烷基 或C₆-C₁₀芳基，在所述-NRR’中，R和R’獨立地為C₁-C₁₀烷基 或C₆-C₁₀芳基，R₃和R₆獨立地選自：

并且m和n滿足關系1＜m＜190、1＜n＜190和2＜m+n ＜190。

3.一種由化學式3表示的含芳香環的聚合物：

其中R₁選自氫、羥基(-OH)、C₁-C₁₀烷基、C₆-C₁₀芳基、 烯丙基和鹵素，R₂選自羥基(-OH)、氨基(-NH₂)、-OR和-NRR’， 在所述-OR中，R為C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，在所述-NRR’ 中，R和R’獨立地為C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，R₃和R₅獨立 地選自：

R₄選自：

并且m和n滿足關系1＜m＜190、1＜n＜190和2＜m+n ＜190。

4.一種按重量計10至90％的根據權利要求1至3中任一項所述 的聚合物和按重量計10至90％的由化學式4表示的含芳香環 的聚合物的聚合物混合物：

其中1＜n＜190。