[發明專利]物質檢測傳感器

有效

• 申請號: 200780052035.8
• 申請日: 2007-10-16
• 公開（公告）號: CN101622529A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: 內藤俊樹;山崎博司;表利彥
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及一種物質檢測傳感器，詳細地講，是涉及一種 主要用于檢測氣體的種類、量的物質檢測傳感器。

背景技術

以往，檢測氣體、液體的物質傳感器可用于各種產業用途。 這樣的物質傳感器可用于特定氣體、液體的定性分析、定量分 析等。

例如，提出了一種如下這樣的化學傳感器，其包括基體、 形成在基體上、由導電性物質及非導電性有機聚合物的混合物 構成的具有化學靈敏性的抗蝕層、以及互相隔開間隔地配置在 基體上并經由抗蝕層電連接的第1及第2導電性引線，作為該化 學傳感器中的基體，提出了一種采用由玻璃或陶瓷構成的非導 電性基板(例如參照下述專利文獻1)。

專利文獻1：日本特表平11-503231號公報(圖4A’)

另一方面，近年來，在用于各種產業用途的儀器中，謀求 薄型化和小型化、或者通過具有可動部而謀求提高功能性，對 于這樣的儀器中的狹小部、可動部要求其能夠檢測物質。

但是，在上述專利文獻1中所述的化學傳感器中，由玻璃、 陶瓷構成的非導電性基板很硬，因此，難以將具有這樣的非導 電性基板的化學傳感器配置在儀器的狹小部、可動部上。

發明內容

本發明的目的在于提供能夠容易地配置在狹小部、可動部 上的物質檢測傳感器。

為了達到上述目的，本發明的物質檢測傳感器的特征在于， 包括：絕緣層，具有撓性；兩個電極，互相隔開間隔地相對配 置在上述絕緣層上，與電阻檢測器相連接；導電性層，橫跨兩 個上述電極并與上述電極接觸地形成在上述絕緣層上，其膨脹 比根據特定物質的種類及/或量而變化。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選上述物質為氣 體。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選上述絕緣層由 液晶聚合物構成。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選上述絕緣層由 聚對苯二甲酸乙二醇酯構成。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選包括形成在上 述絕緣層之下的金屬層。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選包括以包覆兩 個上述電極的方式形成的錫層或錫合金層。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選包括以包覆兩 個上述電極的方式形成的金層。

另外，在本發明的物質檢測傳感器中，優選包括以包覆上 述錫層或上述錫合金層的方式形成的金層。

由于在本發明的物質檢測傳感器中包括具有撓性的絕緣 層，因此，能夠使絕緣層柔軟地變形而將物質檢測傳感器配置 在狹小部上，或者，能夠將其配置在可動部上而使物質檢測傳 感器隨著可動部的運動而運動。

因此，通過由電阻檢測器檢測膨脹比根據特定物質而變化 的導電性層的電阻值，能夠可靠地對狹小部、可動部的物質實 施檢測。

附圖說明

圖1是作為本發明的物質檢測傳感器的一實施方式的氣體 檢測傳感器的俯視圖。

圖2表示圖1所示的氣體檢測傳感器的A-A剖視圖。

圖3表示制造工序圖，該制造工序圖表示圖2所示的氣體檢 測傳感器的制造方法。

圖4是作為本發明的物質檢測傳感器的另一實施方式的氣 體檢測傳感器的俯視圖。

圖5是作為本發明的物質檢測傳感器的另一實施方式的氣 體檢測傳感器的剖視圖，表示與圖2相對應的剖視圖。

具體實施方式

圖1是作為本發明的物質檢測傳感器的一實施方式的氣體 檢測傳感器的俯視圖，圖2表示圖1所示的氣體檢測傳感器的A -A剖視圖。

在圖2中，該氣體檢測傳感器1包括絕緣層2、形成在絕緣 層2上的導體圖案8、包覆導體圖案8地形成的第1保護層11、包 覆第1保護層11地形成的第2保護層12、以及包覆第2保護層12 地形成在絕緣層2上的導電性層4。

絕緣層2具有撓性，例如圖1所示，形成為俯視大致矩形狀 的薄片(薄膜)形狀。

導體圖案8作為配線電路圖案而形成在絕緣層2上，包括電 極3和配線7。

電極3在絕緣層2的相對的兩端面之間形成為呈直線狀延 伸，該電極3包括兩個電極、即第1電極3A和第2電極3B。

第1電極3A在與電極3延伸的方向正交的方向上并列配置 有多個。各第1電極3A在第1電極3A的并列方向上互相隔開間 隔地配置。