[發(fā)明專利]棱柱狀構(gòu)件的研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200780050159.2
• 申請(qǐng)日: 2007-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN101583463A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松本尚;平野雅雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新東博瑞特株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B24B29/06
• 分類號(hào): B24B29/06;B24B7/22;B24B7/26;B24B9/00;B24B9/10
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 薛 琦;朱水平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種由硬、脆材料的晶體制成的棱柱狀構(gòu)件的研磨裝置。特 別地，本發(fā)明涉及一種研磨構(gòu)件的裝置，其可以消除該棱柱狀構(gòu)件上的微裂 紋。該構(gòu)件是由硬、脆材料的晶體制成的，如陶瓷、玻璃和硅，且該構(gòu)件用 于生產(chǎn)基底圓片。

背景技術(shù)

以下是生產(chǎn)由硬、脆材料制成的棱柱狀構(gòu)件的步驟。即，首先通過在鑄 型中澆注熔融原材料生產(chǎn)鑄塊。接著，采用切割機(jī)器如帶鋸將該鑄塊切割分 塊，即分成棱柱狀構(gòu)件。采用切割機(jī)器如線狀鋸將該棱柱狀構(gòu)件切成厚度小 于1mm的薄基底圓片(晶片)。該經(jīng)過切割的晶片在清洗、檢查其尺寸和表 面粗糙度并且包裝之后被運(yùn)輸。

如表1和圖14所示，采用切割機(jī)器分割而成的棱柱狀構(gòu)件的表面粗糙 度的最大值的范圍為Ry＝9-11μm。此外，深度為70-80μm的微裂紋是在切 割構(gòu)件時(shí)出現(xiàn)在該構(gòu)件的邊緣和表面的。在切割鑄塊后，當(dāng)采用切割機(jī)器如 線狀鋸將該棱柱狀構(gòu)件切成薄基底圓片時(shí)，有時(shí)會(huì)由于微裂紋產(chǎn)生破碎或碎 裂的圓片。通常由于破碎或碎裂的圓片導(dǎo)致的生產(chǎn)的缺陷率(“不良率”)為 30-40％。所有破碎或碎裂的圓片都被扔棄了。為了減小不良率，研磨該棱柱 狀構(gòu)件的4個(gè)表面，以使其表面粗糙度的最大值的范圍為Ry＝9-11μm，并 且微裂紋的深度在10-15μm之間。然而，不良率仍高達(dá)20-30％。

表1.切割棱柱狀構(gòu)件時(shí)經(jīng)過切割的圓片的不良率

注釋：不良率的定義為基于切割棱柱狀構(gòu)件以形成基底圓片時(shí)導(dǎo)致的破碎或 碎裂的圓片的產(chǎn)品缺陷率。

為了減小生產(chǎn)基底圓片時(shí)因破碎或碎裂的基底圓片導(dǎo)致的不良率，通過 研磨棱柱狀構(gòu)件的側(cè)表面，使其平整直至其表面粗糙度的最大值Ry小于8 μm，從而減小棱柱狀構(gòu)件側(cè)表面上的微裂紋的深度。(見專利文獻(xiàn)1)

專利文獻(xiàn)1：日本專利No.3649393

發(fā)明內(nèi)容

近來，對(duì)硬、脆材料制成的基底圓片的市場(chǎng)需求增加了。這便強(qiáng)烈要求 大量減少由破碎或碎裂的基底圓片導(dǎo)致的不良率(降至低于2％)。導(dǎo)致基底 圓片上的破碎或破裂的微裂紋不僅如專利文獻(xiàn)1所公開的那樣出現(xiàn)在棱柱狀 構(gòu)件的側(cè)表面上，還出現(xiàn)在其邊緣。因此，需要消除在構(gòu)件側(cè)表面和邊緣上 的微裂紋。

本發(fā)明旨在解決上述問題。本發(fā)明涉及生產(chǎn)基底圓片的過程，該基底圓 片是由棱柱狀構(gòu)件切割而成的，該棱柱狀構(gòu)件是通過切割由原材料澆注而成 的鑄塊制成的。即，本發(fā)明的目的在于通過將棱柱狀構(gòu)件側(cè)表面和邊緣的粗 糙度Ry減小至2μm以下并且將微裂紋的深度減小至3μm以下，來減小不 良率使其小于2％。此外，本發(fā)明的目的在于提供一種研磨由硬、脆材料制 成的棱柱狀構(gòu)件的裝置。該裝置具有很高的產(chǎn)率。

為了解決上述段落中所述的問題，本發(fā)明權(quán)利要求1的研磨棱柱狀構(gòu)件 的裝置包含一用于傳送該棱柱狀構(gòu)件的傳送線，以及一用于研磨該棱柱狀構(gòu) 件的研磨線。該研磨線具有一移動(dòng)裝置，該移動(dòng)裝置可在與該傳送線正交的 方向上移動(dòng)并且支持該棱柱狀構(gòu)件。在研磨線中，設(shè)置一對(duì)用于同時(shí)研磨該 棱柱狀構(gòu)件的兩個(gè)側(cè)表面的第一研磨裝置，和一對(duì)用于同時(shí)對(duì)該棱柱狀構(gòu)件 的兩邊緣加工倒角的第二研磨裝置。在研磨線的一端置有一用于將該棱柱狀 構(gòu)件送入研磨線和將其從研磨線中取出的工位。此外，在該研磨線的另一端 置有一用于翻轉(zhuǎn)該棱柱狀構(gòu)件的工位。

對(duì)于本發(fā)明權(quán)利要求2的研磨棱柱狀構(gòu)件的裝置，本發(fā)明權(quán)利要求1所 述的第一研磨裝置包含一采用刷式工具的粗研磨裝置和一采用刷式工具且 鄰近該粗研磨裝置的精研磨裝置。

對(duì)于本發(fā)明權(quán)利要求3的研磨棱柱狀構(gòu)件的裝置，本發(fā)明權(quán)利要求1所 述的第二研磨裝置包含一采用刷式工具或砂輪式工具的粗研磨裝置和一采 用刷式工具或砂輪式工具且鄰近該粗研磨裝置的精研磨裝置。