[發(fā)明專利]藍(lán)寶石基材及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200780048793.2
• 申請(qǐng)日: 2007-12-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101600820A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·V·塔尼克拉;M·A·辛普森;P·欽納卡魯潘;R·A·瑞祖托;I·K·切瑞安;R·維丹瑟姆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/20
• 分類號(hào): C30B29/20
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 張宜紅;王 穎

1.一種藍(lán)寶石基材，其包括：

大致平坦的表面，其具有選自a-平面、r-平面、m-平面和c-平面取向 的晶體取向，nTTV不大于0.037μm/cm²，其中nTTV是相對(duì)于大致平坦的 表面的表面積進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的總厚度變化，基材的直徑不小于9.0cm，所 述基材的n-翹曲度不大于0.190μm/cm²，其中n-翹曲度是相對(duì)于大致平坦 表面的表面積進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的基材翹曲度。

2.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，nTTV不大于0.035 μm/cm²。

3.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述大致平坦的 表面的粗糙度Ra不大于

4.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述基材的n-平 坦度不大于0.100μm/cm²，其中n-平坦度是相對(duì)于大致平坦表面的表面積 進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的大致平坦表面的平坦度。

5.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述基材的n-彎 曲度不大于0.100μm/cm²，其中n-彎曲度是相對(duì)于大致平坦表面的表面積 進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的基材彎曲度。

6.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述藍(lán)寶石基材 的大致平坦的表面的位錯(cuò)密度不大于1E8/cm²。

7.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述大致平坦的 表面的表面積不小于70cm²。

8.如權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述基材的直徑不 小于10.0cm。

9.一種藍(lán)寶石基材，其包括：

大致平坦的表面，其具有選自a-平面、r-平面、m-平面和c-平面取向 的晶體取向，TTV不大于3.00μm，其中TTV是大致平坦的表面的總厚度 變化，基材的n-翹曲度不大于0.190μm/cm²，其中n-翹曲度是相對(duì)于大致 平坦表面的表面積進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的基材翹曲度，基材的直徑不小于9.5 cm，厚度不大于525μm。

10.如權(quán)利要求9所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，厚度不大于500 μm。

11.如權(quán)利要求9所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述大致平坦的 表面的粗糙度Ra不大于

12.如權(quán)利要求9所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述基材的n- 平坦度不大于0.100μm/cm²，其中n-平坦度是相對(duì)于大致平坦表面的表面 積進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的大致平坦表面的平坦度。

13.如權(quán)利要求12所述的藍(lán)寶石基材，其特征在于，所述表面積不 小于70cm²。

14.一種藍(lán)寶石基材，其包括：

大致平坦的表面，其具有選自a-平面、r-平面、m-平面和c-平面取向 的晶體取向，nTTV不大于0.032μm/cm²，其中nTTV是相對(duì)于大致平坦的 表面的表面積進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的總厚度變化，所述基材的直徑不小于9.0 cm，所述基材的n-翹曲度不大于0.190μm/cm²，其中n-翹曲度是相對(duì)于大 致平坦表面的表面積進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化之后的基材翹曲度。