[發明專利]利用鐳射形成金屬薄膜的裝置及方法

有效

• 申請號: 200780048403.1
• 申請日: 2007-12-24
• 公開（公告）號: CN101611339A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 金一鎬
• 申請（專利權）人: 株式會社COWINDST;金一鎬
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司
• 代理人: 謝順星

1.一種金屬薄膜形成裝置，其特征在于，包括：

鐳射振蕩器；

光束形成部件，使上述鐳射振蕩器發出的鐳射光束平坦，根據加 工目標物調整照射的鐳射光束的形狀和大小；

腔室，與上述加工目標物隔著一定間隔，利用金屬氣體和惰性氣 體混合后的氣體在加工目標物上形成金屬薄膜；

氣體供應部，提供上述金屬氣體和惰性氣體混合后的氣體；

排氣部，形成薄膜后排出殘留氣體。

2.如權利要求1所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述鐳 射振蕩器包括：第一鐳射振蕩器，用于消除加工目標物的絕緣膜、有 機膜、金屬膜或殘留層而形成槽；第二鐳射振蕩器，在上述槽內部形 成金屬薄膜并連接槽之間的金屬薄膜。

3.如權利要求2所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，第一鐳 射振蕩器產生脈沖波狀鐳射，第二鐳射振蕩器產生連續波狀鐳射。

4.如權利要求3所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述第 一鐳射振蕩器和第二鐳射振蕩器具有用于控制鐳射能量的光束調整 裝置。

5.如權利要求2所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述第 一鐳射振蕩器產生紅外線鐳射、可視光線鐳射或紫外線鐳射。

6.如權利要求2所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述第 二鐳射振蕩器產生比藍紫波長短的鐳射。

7.如權利要求2所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述第 一鐳射振蕩器產生的鐳射和第二鐳射振蕩器產生的鐳射形成在同一 光軸上。

8.如權利要求1所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述光 束形成部件包括將鐳射光束能量分布變換為平頂狀的光束整形器和 調整光束大小、形狀的光束狹縫。

9.如權利要求8所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述光 束狹縫包括調整光束大小的4個刀片和調整光束形狀的多個掩模圖 案。

10.如權利要求8所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述 光束整形器包括擴大光束大小的光束擴束器和使光束能量分布均勻 的均化器。

11.如權利要求1至10任一項所述的金屬薄膜形成裝置，其特征 在于，還包括實時監測步驟狀態的監測器。

12.如權利要求11所述的金屬薄膜形成裝置，其特征在于，上述 監測器包括自動調整鐳射焦點的焦點調整部和電荷耦合器攝像機。

13.一種金屬薄膜形成方法，其特征在于，當沉積于基板上的金 屬圖案被截斷時連接被截斷的金屬圖案，其方法包括：

照射第一鐳射消除在金屬圖案上形成的絕緣膜，形成可在金屬圖 案上沉積薄膜的第一連接槽和第二連接槽的步驟；

照射第二鐳射在上述槽填充金屬薄膜的步驟；

照射上述第二鐳射在上述槽之間形成金屬薄膜而連接的步驟。

14.如權利要求13所述的金屬薄膜形成方法，其特征在于，上述 第一鐳射為紅外線鐳射、可視光線鐳射或者紫外線鐳射中的任一個， 上述第二鐳射為比藍紫短波長的鐳射。

15.如權利要求13所述的金屬薄膜形成方法，其特征在于，形成 上述槽的步驟，調整第一鐳射輸出在形成槽時，使金屬圖案融化被粘 貼在槽壁上。

16.如權利要求13所述的金屬薄膜形成方法，其特征在于，形成 上述槽的步驟，依次照射第一鐳射或者利用掩模圖案同時照射第一鐳 射，以形成槽，或在槽填充金屬薄膜的步驟，依次照射第二鐳射或者 利用掩模圖案同時照射第二鐳射，以在槽填充金屬薄膜。

17.如權利要求13所述的金屬薄膜形成方法，其特征在于，連接 上述第一和第二連接槽的步驟包括直接連接第一、第二連接槽或者迂 回連接第一、第二連接槽的步驟。