[發(fā)明專利]被測(cè)物相對(duì)于傳感器的位置和/或位置變化的測(cè)定方法及測(cè)定用的傳感器裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200780047304.1
• 申請(qǐng)日: 2007-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN101563585A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: V·蒙德尼科夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 微-埃普西龍測(cè)量技術(shù)有限兩合公司
• 主分類號(hào): G01D5/20
• 分類號(hào): G01D5/20;G01D5/22;G01B7/00;H01H36/00;H03K17/95
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 李 玲

1.一種被測(cè)物相對(duì)于傳感器的位置或位置變化的測(cè)定方法，其中所述傳感器 具有施加以交流電的傳感線圈，其特征在于，金屬薄片的磁導(dǎo)率變化由分配給軟磁金 屬薄片中被測(cè)物的磁鐵所產(chǎn)生，其磁導(dǎo)率在磁場(chǎng)的作用下隨磁場(chǎng)的場(chǎng)強(qiáng)變化而變化并 安排在傳感器的作用范圍內(nèi)，所述金屬薄片的磁導(dǎo)率變化由傳感器上的反饋來(lái)確定并 由其測(cè)定被測(cè)物相對(duì)于傳感器的位置或位置變化，并且磁場(chǎng)由以直流電激發(fā)的補(bǔ)償線 圈產(chǎn)生，通過(guò)磁場(chǎng)影響金屬薄片或部分金屬薄片的磁導(dǎo)率。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述直流電被調(diào)整以使得傳感線圈 建立基本上恒定的磁場(chǎng)。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，用以下步驟對(duì)傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)：

以步寬δh對(duì)在相對(duì)于傳感器的多個(gè)位置h上的被測(cè)物定位；

向傳感線圈供交流電；

測(cè)定每一位置上的傳感線圈的阻抗Z和/或相對(duì)阻抗變化ΔZ/Z；

確定傳感線圈的相對(duì)敏感度S對(duì)被測(cè)物的位置h的相關(guān)性特征，其中

S=ΔZZ/δh]]>

確定特征中的位置h₀，在該位置上假定相對(duì)敏感度S達(dá)最大值；

儲(chǔ)存復(fù)阻抗Z₀的值，其相應(yīng)于在非易失性存儲(chǔ)器中的位置h₀；

向補(bǔ)償線圈供直流電；

測(cè)定每一位置h上傳感線圈的阻抗Z和/或相對(duì)阻抗變化ΔZ/Z，其中所述傳感 線圈、所述補(bǔ)償線圈以及磁鐵的磁場(chǎng)都作用在金屬薄片上；

使直流電在測(cè)量范圍±Δh內(nèi)變化直至達(dá)到已儲(chǔ)存的阻抗目標(biāo)值；以及

確定直流電與被測(cè)物的位置變化的相關(guān)性。

4.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，用以下步驟對(duì)傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)：

以步寬δh對(duì)在相對(duì)于傳感器的多個(gè)位置h上的被測(cè)物定位；

向傳感線圈供交流電；

測(cè)定每一位置上的傳感線圈的阻抗Z和/或相對(duì)阻抗變化ΔZ/Z；

確定傳感線圈的相對(duì)敏感度S對(duì)被測(cè)物的位置h的相關(guān)性特征，其中

S=ΔZZ/δh]]>

確定特征中的位置h₀，在該位置上假定相對(duì)敏感度S達(dá)最大值；

儲(chǔ)存復(fù)阻抗Z₀的值，其相應(yīng)于在非易失性存儲(chǔ)器中的位置h₀；

向補(bǔ)償線圈供直流電；

測(cè)定每一位置h上傳感線圈的阻抗Z和/或相對(duì)阻抗變化ΔZ/Z，其中所述傳感 線圈、所述補(bǔ)償線圈以及磁鐵的磁場(chǎng)都作用在金屬薄片上；

使直流電在測(cè)量范圍±Δh內(nèi)變化直至達(dá)到已儲(chǔ)存的阻抗目標(biāo)值；以及

確定直流電與被測(cè)物的位置變化的相關(guān)性。

5.如權(quán)利要求1至4中任何一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，對(duì)阻抗或它的變化 進(jìn)行測(cè)定以檢測(cè)由所述金屬薄片的磁導(dǎo)率變化而在傳感線圈產(chǎn)生的反饋，其中確定 傳感線圈的復(fù)阻抗的實(shí)部Re{Z}和虛部Im{Z}以及其比率D=Re{Z}/Im{Z}。

6.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在跟蹤控制中通過(guò)閉合控制回路調(diào) 整經(jīng)補(bǔ)償線圈的直流電的大小。

7.如權(quán)利要求3或4所述的方法，其特征在于，在跟蹤控制中通過(guò)閉合控制回 路調(diào)整經(jīng)補(bǔ)償線圈的直流電的大小。