[發明專利]具有梳形電極的加速度傳感器

有效

• 申請號: 200780047165.2
• 申請日: 2007-10-19
• 公開（公告）號: CN101563616A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發明（設計）人: J·克拉森;M·海茨;F·本尼尼
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/08
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 侯鳴慧

1.一種微機械電容式加速度傳感器，其具有至少一個可偏移地與基底(5)連接的慣性質量塊(1)、至少一個固定地與基底(5)連接的電極(11)和至少一個與慣性質量塊(1)連接的電極(6)，其特征在于，所述至少一個固定地與基底(5)連接的電極(11)和所述至少一個與慣性質量塊(1)連接的電極(6)被構造成具有平行于慣性質量塊(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形電極(6，11)，其中，兩個梳形電極(6，11)的薄片(8，13)在靜止狀態下部分重疊，支撐梁(9，9’)在連接梁(3)兩側延伸，用于接收固定地與基底連接的梳形電極(11，11’)，其中，支撐梁(9，9’)同樣在基底(5)的中心區域中被固定在基底(5)上。。

2.如權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，分別包括多個固定地與基底(5)連接的梳形電極(11，11’)和多個與慣性質量塊(1)連接的梳形電極(6，6’)，它們形成梳形電極對(6，11；6’，11’)，所述梳形電極對的重疊長度與慣性質量塊(1)的偏移相關。

3.如權利要求1或2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述慣性質量塊(1)被構造成包圍電極組件的框架。

4.如權利要求1或2所述的加速度傳感器，其特征在于，慣性質量塊(1)通過S形彎曲彈簧(2，2’)與基底(5)連接。

5.如權利要求1或2所述的加速度傳感器，其特征在于，包括固定在基底(5)中心區域中的連接梁(3)，該連接梁(3)通向可偏移地支撐慣性質量塊(1)的彈簧(2，2’)。

6.如權利要求5所述的加速度傳感器，其特征在于，連接梁(3)和支撐梁(9，9’)在其中被固定在基底(5)上的區域(4，10，10’)處于一條相對于慣性質量塊(1)的偏移方向橫向延伸的直線上。

7.如權利要求4所述的加速度傳感器，其特征在于，慣性質量塊(1)通過一對鏡像對稱設置的S形彎曲彈簧(2，2’)與基底(5)連接。

8.如權利要求1或2所述的加速度傳感器，其特征在于，包括至少一個梳形電極對(6，11)，其重疊長度在慣性質量塊(1)在晶片平面中偏移時增加，并且包括至少一個另外的梳形電極對(6’，11’)，其重疊長度在慣性質量塊(1)在晶片平面中相同偏移時減小。

9.如權利要求1或2所述的加速度傳感器，其特征在于，慣性質量塊(1)的至少一部分和/或梳形電極(6，6’，11，11’)的橫桿(7，7’，12，12’)的至少一部分被構造成穿孔面。