[發(fā)明專利]透明導(dǎo)電薄膜的反應(yīng)性濺射沉積方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780047064.5
• 申請日: 2007-12-19
• 公開（公告）號: CN101563477A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李洋平;葉洋;蔡容基;元泰景;安庫爾·凱達(dá)姆;盛殊然;李立偉
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 徐金國

1、一種用于濺射沉積一透明導(dǎo)電氧化物層的方法，包括：

將一基板提供至一制程室中；

通過一第一濺射沉積步驟而在該基板上形成一透明導(dǎo)電氧化物層的一第一部分；以及

通過一第二濺射沉積步驟而形成該透明導(dǎo)電氧化物層的一第二部分。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中上述的形成該透明導(dǎo)電氧化物層的該第一部分的步驟可更包括：

供應(yīng)一第一氣體混合物至該制程室中；

濺射來自設(shè)置在該制程室中的一靶材的一來源物質(zhì)；以及

經(jīng)濺射的該來源物質(zhì)與該第一氣體混合物產(chǎn)生反應(yīng)。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中上述的形成該透明導(dǎo)電氧化物層的該第二部分的步驟可更包括：

供應(yīng)一第二氣體混合物至該制程室中；

濺射來自該靶材的該來源物質(zhì)；以及

經(jīng)濺射的該來源物質(zhì)與該第二氣體混合物產(chǎn)生反應(yīng)。

4、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中上述的供應(yīng)該第一氣體混合物的步驟更包括：

供應(yīng)選自由O₂、N₂O、N₂、Ar、He及H₂O所組成的群組的該第一氣體混合物。

5、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中該第一氣體混合物包括O₂及Ar。

6、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中該靶材是由下列至少其中之一者制成：鋅、鋅合金、鋅鋁合金、鋅鎵合金及陶瓷氧化鋅。

7、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中上述的供應(yīng)該第一氣體混合物的步驟更包括：

在濺射期間調(diào)整該第一氣體混合物的一流速。

8、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中上述的濺射來自該靶材的該來源物質(zhì)的步驟更包括：

施加一第一功率至該靶材。

9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中上述的施加該第一功率的步驟更包括：

在該第一濺射沉積步驟期間調(diào)整施加至該靶材的該第一功率。

10、根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中上述的形成該透明導(dǎo)電氧化物層的該第二部分的步驟更包括：

供應(yīng)選自由O₂、N₂O、N₂、Ar、He及H₂O所組成的群組的該第二氣體混合物。

11、根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中該第二氣體混合物包括O₂及Ar。

12、根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中上述的供應(yīng)該第二氣體混合物的步驟更包括：

在濺射期間調(diào)整該第二氣體混合物的一流速。

13、根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中上述的濺射來自該靶材的該來源物質(zhì)的步驟更包括：

施加一第二功率至該靶材。

14、根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中上述的施加該第二功率的步驟更包括：

在該第二濺射沉積步驟期間調(diào)整施加至該靶材的該第二功率。

15、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中該透明導(dǎo)電氧化物層是用作為一光伏元件中的一背反射板。

16、一種用于濺射沉積一透明導(dǎo)電氧化物層的方法，包括：

將一基板提供至一制程室中；

供應(yīng)一氣體混合物至該制程室中；

濺射來自設(shè)置在該制程室中的一靶材的一來源物質(zhì)而沉積一透明導(dǎo)電氧化物層的一第一部分；

在濺射期間調(diào)整供應(yīng)至該制程室的該氣體混合物的一流速；以及

在該基板上形成該透明導(dǎo)電氧化物層的一第二部分。

17、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中上述的濺射來自該靶材的該來源物質(zhì)的步驟更包括：

在濺射期間調(diào)整施加至該靶材的一功率。

18、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中該透明導(dǎo)電氧化物層為氧化鋅層。

19、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中該氣體混合物是選自由O₂、N₂O、N₂、Ar、He及H₂O所組成的群組。