[發明專利]包括參考傳感器元件的傳感器

有效

• 申請號: 200780046906.5
• 申請日: 2007-10-17
• 公開（公告）號: CN101563591A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發明（設計）人: 埃萊·海因斯;威廉·萊恩;愛德華·約翰·科因
• 申請（專利權）人: 模擬裝置公司
• 主分類號: G01J5/06
• 分類號: G01J5/06;G01J5/08;G01J5/10;G01J5/24
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 王 萍;李春暉

1.一種電磁輻射傳感器，具有形成在第一襯底中的第一和第二傳感 器元件和形成在第二襯底中的第一和第二蓋，第一和第二蓋具有各自的 腔，第一和第二襯底在接合過程中彼此相對布置以使得第一傳感器元件位 于第一蓋的腔的下面，和第二傳感器元件位于第二蓋的腔的下面，從而提 供第一和第二單元，第一蓋配置成便于輻射的傳導穿過該第一蓋，第二蓋 配置成部分不透明，從而使所述輻射的已知部分傳導穿過該第二蓋并且到 達第二傳感器元件上，

第一單元提供基于第一響應特征的輸出，和第二單元提供基于第二響 應特征的輸出；第二單元的輸出用來校準第一單元的輸出。

2.如權利要求1中的傳感器，其中第二單元的輸出小于第一單元的 輸出。

3.如權利要求1中的傳感器，其中第一和第二單元每個的響應特征 為各單元的如下性質的至少一個的函數：

a)光學響應特性，

b)電學響應特性，

c)熱響應特性，

d)用于照射第一和第二單元各自的輻射源的性質。

4.如權利要求1中的傳感器，其中用于第二傳感器元件的蓋過濾入 射在第二單元上的輻射的至少一部分。

5.權利要求1的傳感器，其中用于第二傳感器元件的蓋包括反射該 蓋上入射的輻射的反射涂層。

6.權利要求1的傳感器，其中第一蓋包括構造用于提供入射輻射到 第一傳感器元件上的聚焦的光學元件，該光學元件形成在第一蓋的內表面 或外表面中。

7.如權利要求1中的傳感器，其中用于第一和第二傳感器元件的各 腔彼此成流體連通。

8.如權利要求1中的傳感器，其中用于第一和第二傳感器元件的每 個腔與用于第一和第二傳感器元件的另外的腔隔離。

9.如權利要求1中的傳感器，其中第一和第二襯底由硅提供。

10.如權利要求1中的傳感器，其中第一和第二傳感器元件為紅外線 傳感器元件。

11.如權利要求1中的傳感器，其中至少一個光學元件為衍射光學元 件。

12.如權利要求6中的傳感器，其中至少一個光學元件為折射光學元 件。

13.如權利要求1中的傳感器，其中所述腔內的環境條件和成分能夠 被指定。

14.如權利要求13中的傳感器，其中所述腔設置在低于周圍壓力的 壓力下。

15.如權利要求13中的傳感器，其中所述腔填有為了所述傳感器要 被使用的應用而選擇的氣體成分。

16.如權利要求15中的傳感器，其中所述氣體成分包括具有比氮的 熱導率低的熱導率的氣體。

17.如權利要求6中的傳感器，其中所述光學元件形成在所述蓋的內 表面中、鄰近腔。

18.如權利要求6中的傳感器，其中所述光學元件形成在所述蓋的外 表面中、遠離腔。

19.如權利要求6中的傳感器，其中在用于第一傳感器元件的蓋的內 表面和外表面中都形成有光學元件，鄰近和遠離腔的所述光學元件的組合 形成復合透鏡。

20.如權利要求6中的傳感器，其中形成有多個傳感器元件并且所述 光學元件構造成把特定波長的輻射選擇性地引導到所述多個傳感器元件 的預先選定的傳感器元件。

21.如權利要求1中的傳感器，其中用于第一和第二傳感器元件的蓋 形成在相同的第二襯底中，所述傳感器附加地包括外蓋，所述外蓋位于第 二襯底之上，所述外蓋包括光學元件。

22.如權利要求1中的傳感器，其中在布置第一和第二襯底的每個與 另一個彼此相對時，每個所述蓋都由側壁形成，所述側壁從第一襯底向上 延伸并支撐其間的頂部，該頂部位于實質上平行于傳感器元件的平面中。