[發明專利]微機械的z傳感器在審
| 申請號： | 200780045820.0 | 申請日： | 2007-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN101558316A | 公開（公告）日： | 2009-10-14 |
| 發明（設計）人： | J·克拉森;L·特布杰 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.具有靈敏度的微機械的z傳感器，該傳感器具有一扭簧(100)和一震動的附加質量塊(40)，
其中，扭簧(100)具有彈簧寬度(105)，
震動的附加質量塊(40)具有一些具有連接條寬度(115)的連接條(110)，
其特征在于，所述連接條寬度(115)選擇得小于所述彈簧寬度(105)。
2.根據權利要求1的微機械的z傳感器，其特征在于，連接條寬度(115)選擇得小于彈簧寬度(105)的一半并且大于彈簧寬度(105)的四分之一。
3.根據以上權利要求中一項的微機械的z傳感器，其特征在于，該z傳感器具有一質量塊結構(30)，該質量塊結構(30)具有一些具有另外的連接條寬度的另外的連接條，所述連接條寬度(115)與所述另外的連接條寬度相互不同。
4.根據權利要求1或2的微機械的z傳感器，其特征在于，設置有一些具有各種不同寬度的連接條(110)，所述連接條寬度(115)是平均寬度。
5.根據權利要求2的微機械的z傳感器，其特征在于，所述連接條寬度(115)選擇為彈簧寬度(105)的三分之一。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于羅伯特·博世有限公司，未經羅伯特·博世有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200780045820.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
