[發明專利]帶有帕邢堆疊的充電防護裝置

有效

• 申請號: 200780042338.1
• 申請日: 2007-11-13
• 公開（公告）號: CN101606096A
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 布賴恩·P·斯泰克;安德烈斯·費爾南德斯;亞歷山大·P·金德沃;溫沙·E·歐文斯
• 申請（專利權）人: 格雷姆格拉斯網絡公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;H01L27/00
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余 朦;王艷春

1.一種靜電控制微電子機械系統裝置，包括：

第一電極和第二電極，形成于襯底中；

溝槽，被設置在所述第一電極與所述第二電極之間；

絕緣層，形成于所述第一電極與所述第二電極之間；所述絕緣層 從所述溝槽的底面突出，

其中，所述溝槽的高度大于所述溝槽的寬度。

2.如權利要求1所述的靜電控制微電子機械系統裝置，其中，所 述絕緣層從所述溝槽的底面突出的高度大于所述絕緣層的寬度。

3.如權利要求1所述的靜電控制微電子機械系統裝置，其中，所 述襯底是硅襯底。

4.如權利要求3所述的靜電控制微電子機械系統裝置，其中，所 述絕緣層是二氧化硅。

5.如權利要求1所述的靜電控制微電子機械系統裝置，進一步包 括：

鏡子，位于所述導電元件的上方。

6.如權利要求1所述的靜電控制微電子機械系統裝置，進一步包 括：

第三電極，形成于所述襯底中；

第二溝槽，被設置在所述第二電極與所述第三電極之間；以及

第二絕緣層，形成于所述第二電極與所述第三電極之間；所述第 二絕緣層從所述第二溝槽的底面突出。

7.如權利要求6所述的靜電控制微電子機械系統裝置，其中，所 述第一溝槽和所述第二溝槽具有相同的尺寸，所述第一溝槽和所述第 二溝槽中每一個的高度大于所述第一溝槽和所述第二溝槽中每一個的 寬度。

8.如權利要求7所述的靜電控制微電子機械系統裝置，其中，所 述第一絕緣突出部和所述第二絕緣突出部具有相同的尺寸，所述第一 突出部和所述第二突出部中每一個的高度大于所述第一突出部和所述 第二突出部中每一個的寬度。

9.一種靜電控制微電子機械系統裝置，包括：

N個電極，形成于襯底中；

M個溝槽，每個溝槽被設置在不同的一對相鄰電極之間；

M個絕緣層，每個絕緣層與所述M個溝槽中不同的一個溝槽相關 聯，每個絕緣層形成于不同的一對相鄰電極之間；每個絕緣層從相關 聯的溝槽的底面突出；以及

一個或多個鏡子，位于所述電極的下方，

其中，每個溝槽的高度均大于其寬度。