[發明專利]具有位阻酰胺的有機金屬化合物

無效

• 申請號: 200780033246.7
• 申請日: 2007-07-03
• 公開（公告）號: CN101511773A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: S·H·米埃爾
• 申請（專利權）人: 普萊克斯技術有限公司
• 主分類號: C07C211/65
• 分類號: C07C211/65;C07F7/10;C07F5/00;C23C16/40
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 龐立志;付 磊

1.式M(NR₁R₂)_x所示的有機金屬化合物，其中M是金屬或準金屬，R₁相同或不同，并且是烴基或含雜原子的基團，R₂相同或不同，并且是烴基或含雜原子的基團；R₁和R₂可以結合形成取代或未取代的、飽和或不飽和的環狀基團；一個(NR₁R₂)基團的R₁或R₂可以與另一(NR₁R₂)基團的R₁或R₂結合形成取代或未取代的、飽和或不飽和的環狀基團；x等于M的氧化態；并且其中所述有機金屬化合物具有(i)足以保持單體結構的空間體積和等于M的氧化態的與陰離子配體相對的配位數，和(ii)足以擁有適于氣相沉積的揮發性的分子量。

2.權利要求1的有機金屬化合物，其具有足以應對氣相沉積的熱穩定性和足以應對氣相沉積的熔點。

3.權利要求1的有機金屬化合物，其空間體積大于三(二乙基氨基)鑭或三(二異丙基氨基)鑭的空間體積。

4.權利要求1的有機金屬化合物，其具有小于大約1000的分子量和小于大約200℃的熔點。

5.權利要求1的有機金屬化合物，其具有在200℃至少0.1托的揮發性，和在100℃經1天分解少于大約1重量％所述有機金屬化合物的熱穩定性。

6.權利要求1的有機金屬化合物，其在20℃是液體。

7.權利要求1的有機金屬化合物，其中M選自第2族元素、第13族元素、第14族元素、過渡金屬或鑭系元素，各個R₁和R₂相同或不同，并獨立地為烷基；取代或未取代的、飽和或不飽和的烴、芳烴、脂環族烴、芳族雜環、脂環族雜環、鹵代烷、甲硅烷基化烴、醚、聚醚、硫醚、酯、內酯、酰胺、胺、多胺、腈；或其混合物。

8.權利要求1的有機金屬化合物，其中M選自Sr、Ba、Sc、Y、Al、Ga、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu，且各個R₁和R₂相同或不同，并獨立地是取代或未取代的烷基、脂環族烴、甲硅烷基化烴或其混合物。

9.權利要求1的有機金屬化合物，選自三(雙(環己基)氨基)鑭、三(叔丁基異丙基)氨基)鑭、三(雙(二甲基甲硅烷基)氨基)鑭、三((三甲基甲硅烷基)(二甲基乙基甲硅烷基)氨基)鑭、三(雙(叔丁基)氨基)鑭、三(雙(叔戊基)氨基)鑭、三(叔戊基-叔丁基氨基)鑭、三(叔丁基三甲基甲硅烷基氨基)鑭和三(雙(二甲基乙基甲硅烷基)氨基)鑭。

10.制造權利要求1的有機金屬化合物的方法，包括(i)在第一罐中使含氮化合物與堿金屬、或含堿金屬的化合物、或堿土金屬、或含堿土金屬的化合物在溶劑存在下和在足以制造包含堿材料的第一反應混合物的反應條件下反應，(ii)將所述堿材料添加到含有金屬源化合物和任選含有胺化合物的第二罐中，(iii)在所述第二罐中使所述堿材料與所述金屬源化合物和任選所述胺化合物在足以制造包含所述有機金屬化合物的第二反應混合物的反應條件下反應，和(iv)從所述第二反應混合物中分離所述有機金屬化合物。

11.權利要求10的方法，其中金屬源化合物包括純金屬、金屬鹵化物或金屬類鹵化物，堿材料具有大于大約10的pKa，且胺化合物包括二異丙基胺、二-叔戊基胺、叔丁基異丙基胺、二-叔丁基胺、二環己基胺、叔丁基三甲基甲硅烷基胺、或二乙基四甲基二硅氮烷。