[發(fā)明專(zhuān)利]蝕刻步驟期間對(duì)電極的正確鉆蝕的測(cè)試無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200780030429.3 | 申請(qǐng)日： | 2007-08-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101506973A | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-08-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 勒內(nèi)·P·青格;蘇達(dá)·高普蘭·青格;赫爾曼·E·多恩維德;特奧多魯斯·H·G·馬騰斯 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L23/544 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 陳 源;張?zhí)焓?/td> |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 蝕刻 步驟 期間 電極 正確 鉆蝕 測(cè)試 | ||
1.一種襯底(101)上的探針電極結(jié)構(gòu)(100，300，400)，其包括在一個(gè)層序列(106)上的第一探針電極(102)和相鄰的第二探針電極(104)，所述層序列(106)在從所述襯底到探針電極的方向上總體上包括導(dǎo)電底層(108)、電絕緣中心層(110)和導(dǎo)電頂層(112)，其中
中心層(110)具有各自的第一接觸開(kāi)口(114)和第二接觸開(kāi)口(116)，其中在一側(cè)上的第一探針電極或第二探針電極和另一側(cè)上的底層(108)的各自的第一底層部分(118)或第二底層部分(120)之間分別布置有頂層(112)；
中心層(110)還具有第一探針開(kāi)口(126)，該第一探針開(kāi)口被布置在第二底層部分(120)上，但是在第一探針電極(102)的第一邊沿(124)和第一接觸開(kāi)口(114)的第一邊沿之間的第一探針電極(102)之下；
頂層(112)將彼此電絕緣的第一底層部分(118)和第二底層部分(120)電連接起來(lái)；并且，其中
頂層(112)具有第一探針開(kāi)口(126)中的第一頂層探針部分(132)，所述第一頂層探針部分被布置在第二底層部分(120)上的第一探針電極(102)之下。
2.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)，其中，第一探針開(kāi)口(126)被布置在與第一探針電極(102)的第一邊沿(124)相距預(yù)定的探針距離處。
3.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)，其中，第一探針開(kāi)口(126)被布置在與第一探針電極(102)的第一邊沿(124)和另一邊沿(128)相距預(yù)定的探針距離的角落位置處。
4.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)，其中，第一底層部分和第二底層部分被底層開(kāi)口(122)分開(kāi)，所述底層開(kāi)口(122)的側(cè)壁和底面被第一探針電極(102)和第二探針電極(104)之下的中心層(110)覆蓋，并且其中，底層開(kāi)口(122)中的中心層圍出了一個(gè)大小適于傳送液體的凹陷。
5.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)，其中，第一探針電極(102)或底層(108)均由選自金、銅、鋁、鉛、和錫的一種材料制成，或者由選自金、銅、鋁、鉛、和錫的材料組合制成。
6.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)，其中，頂層(112)包含鈦或鈦鎢化合物。
7.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)，其中，中心層(110)形成防止第一探針電極(102)的材料和底層(108)的材料之間的相互滲透的阻擋層。
8.如權(quán)利要求1所述的探針電極結(jié)構(gòu)(300)，其中，探針電極結(jié)構(gòu)還包括第三探針電極(340)，其中
中心層(310)具有第三接觸開(kāi)口(344)，其中，在一側(cè)的第三探針電極(340)和另一側(cè)的底層的第三底層部分(342，342.2)之間布置頂層；
中心層(310)還具有第二探針開(kāi)口(346)，該第二探針開(kāi)口(346)被布置在第三底層部分(342.2)之上，但是在位于第一探針電極的第二邊沿(350)和第一接觸開(kāi)口(314)的第二邊沿(352)之間的第一探針電極(302)之下；
所述頂層將彼此電絕緣的第一底層部分(318)和第三底層部分(342)進(jìn)行電連接；并且其中
所述頂層具有第二探針開(kāi)口(346)中的第二頂層探針部分，所述第二頂層探針部分被布置在第三底層部分(342)上的第一探針電極(302)之下。
9.如權(quán)利要求8所述的探針電極結(jié)構(gòu)(400)，其還包括第四探針電極(460)，其中
中心層(410)具有第四接觸開(kāi)口(462)，其中，頂層被布置在一側(cè)的第四探針電極(460)和另一側(cè)的底層的第四底層部分(464)之間；
中心層(410)還具有第三探針開(kāi)口(466)，所述第三探針開(kāi)口被布置在第四底層部分(464)之上，但是在位于第一探針電極(402)的第三邊沿(448)和第一接觸開(kāi)口(414)的第三邊沿(424)之間的第一探針電極(402)之下；
所述頂層將彼此電絕緣的第一底層部分(418)和第四底層部分(464)進(jìn)行電連接；并且其中
所述頂層具有第三探針開(kāi)口(466)中的第三頂層探針部分，所述第三頂層探針部分被布置在第四底層部分(464)上的第一探針電極(402)之下。
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