[發明專利]聚焦光束橢偏儀無效
| 申請號： | 200780023307.1 | 申請日： | 2007-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN101473212A | 公開（公告）日： | 2009-07-01 |
| 發明（設計）人： | 李仲煥;高永俊;樸永善;樸允鐘;鄭致云;芮相憲;趙龍在;趙賢模;諸葛園 | 申請（專利權）人： | 韓國標準科學研究院;科美儀器株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/21 | 分類號： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 黃綸偉 |
| 地址： | 韓國大*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚焦 光束 橢偏儀 | ||
【權利要求書】：
1、一種橢偏儀，包括：
光源；
設置有使從所述光源發出的光偏振的偏振器的光源部模塊；
對由所述光源部模塊偏振的光進行分束的分束器；
允許由所述分束器分束后的光的一部分通過并且會聚照射到試樣上的物鏡；
設置有偏振器的光接收部模塊，該光接收部模塊用于使在所述試樣上反射的光橢圓偏振并且接收在所述試樣上反射并且通過所述物鏡和所述分束器的光；
利用單元裝置檢測由所述光接收部模塊接收到的光的光檢測器；以及
處理裝置，其用于將所述光檢測器檢測到的光的強度校正為對應于所述光檢測器的沿著多個入射面的通路的單元裝置的值，并且對該值進行處理。
2、根據權利要求1所述的橢偏儀，其中所述光檢測器為具有多個像素的二維圖像測量裝置。
3、根據權利要求1所述的橢偏儀，其中所述光源部模塊和所述光接收部模塊各還包括允許特定波長范圍內的光通過的濾波器。
4、根據權利要求3所述的橢偏儀，其中所述光源部模塊和所述光接收部模塊各還包括準直透鏡和補償器。
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