[發明專利]再循環處理液的方法及設備

有效

• 申請號: 200780020107.0
• 申請日: 2007-04-03
• 公開（公告）號: CN101622585A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: D·P·愛德華茲
• 申請（專利權）人: 液化空氣電子美國有限公司
• 主分類號: G05D11/00
• 分類號: G05D11/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 吳 鵬;馬江立

1.一種再循環來自半導體加工工具的酸鈷溶液的方法，包括以下步 驟：

回收從半導體加工工具的排放口出來的用過的酸鈷溶液，其中用過的 酸鈷溶液從排放口流入回收管路中；

用與回收管路相連的傳導性探頭檢測用過的酸鈷溶液的傳導性；

向控制器發送指示傳導性的信號，并判斷傳導性是否在預定傳導性范 圍內；

如果傳導性在預定的傳導性范圍內，則將用過的酸鈷溶液再循環到半 導體加工工具，以及如果傳導性超出預定的傳導性的范圍，則將至少一部 分用過的酸鈷溶液轉移到系統排放口，其中，再循環酸鈷溶液的步驟包括 將用過的酸鈷溶液運送到罐中，并將酸鈷溶液從罐中泵送到半導體加工工 具的入口；以及

當罐中的酸鈷溶液的液位到達低設定點時，向罐中添加新的酸鈷溶液。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，向罐里添加新的酸鈷溶 液的步驟包括組合第一流體和第二流體以形成新的酸鈷溶液，以及用第一 流量控制器控制第一流體的流速，和用第二流量控制器控制第二流體的流 速。

3.一種用于再循環酸鈷溶液的系統，包括：

適于通過將酸鈷溶液施加到銅互連上來防止銅互連中的電遷移的半導 體加工工具；和

再循環系統，包括：

與半導體加工工具的排放口相連、用于回收用過的酸鈷溶液的回 收管路；

與回收管路相連用于檢測用過的酸鈷溶液的傳導性的傳導性探 頭；

用于將用過的酸鈷溶液從回收管路再循環到半導體加工工具的入 口的再循環管路；

設在再循環管路中的罐，該罐具有用于接收來自回收管路的用過 的酸鈷溶液的入口；

控制器，該控制器適于接收指示傳導性的信號，并判斷該指示傳 導性的信號是否在預定的傳導性范圍內，其中，如果所述指示傳導性的信 號在傳導性范圍內，控制器適于向閥發送信號以將用過的酸鈷溶液引導到 罐里，如果所述指示傳導性的信號超出傳導性范圍，控制器適于向閥發送 信號以將用過的酸鈷溶液導入系統排放口；以及

與罐和半導體加工工具的入口相連的流體分配裝置。

4.如權利要求3所述的設備，其特征在于，還包括與回收管路相連 的用于檢測用過的酸鈷溶液的濃度的自動滴定器，和連接到回收管路以測 量用過的酸鈷溶液的pH值的流體傳感器，該流體傳感器選自pH探頭、 ORP探頭、比重計和折射率傳感器。

5.如權利要求3所述的設備，其特征在于，還包括用于控制第一流 體的流速的第一流量控制器和用于控制第二流體的流速的第二流量控制 器，其中第一和第二流體適于組合以形成一股新的酸鈷溶液，并且所述罐 包括用于所述一股新的酸鈷溶液的流體入口。