[發(fā)明專利]無堿玻璃及無堿玻璃基板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780018089.2
• 申請日: 2007-05-11
• 公開（公告）號: CN101448753A
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柳瀨智基;三和晉吉
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C3/091
• 分類號: C03C3/091;C03B17/06;C03C3/093;G02F1/1333
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種無堿玻璃，其特征在于，作為玻璃組成以質(zhì)量％計含有SiO₂： 45～65％、Al₂O₃：12～17％、B₂O₃：7.5～15％、MgO：0～1％、CaO：5.5～15％、 SrO：0～5％、BaO：5～15％、ZnO：0～5％、MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO：15～23％、 ZrO₂：0～5％、TiO₂：0～5％、P₂O₅：0～5％，實質(zhì)上不含有堿金屬氧化物， 以質(zhì)量分率計，(CaO+BaO-MgO)/SiO₂的值為0.25～0.4，并且在30～380 ℃的溫度范圍中的平均熱膨脹系數(shù)為40～50×10^-7/℃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無堿玻璃，其特征在于，以質(zhì)量分率計， (MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)/SiO₂的值為0.3～0.4。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，實質(zhì)上不含 有As₂O₃，下述氧化物的換算以質(zhì)量％計含有0～3％的Sb₂O₃+SnO₂+Cl。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，實質(zhì)上不含 有As₂O₃、Sb₂O₃，下述氧化物的換算以質(zhì)量％計含有0～1％的SnO₂。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，實質(zhì)上不含 有鹵素。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，所述TiO₂的 含量以質(zhì)量％計低于0.5％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，液相溫度為 1150℃以下和/或液相粘度為10^5.4dPa·s以上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，下述氧化物 的換算以質(zhì)量％計作為玻璃組成含有0～0.5質(zhì)量％的SnO₂，并且添加SnO₂直到SnO₂成為0.5質(zhì)量％時，所得到的玻璃的液相溫度為1150℃以下。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，在玻璃組成 中添加1質(zhì)量％的ZrO₂時，所得到的玻璃的液相溫度為1150℃以下。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，應(yīng)變點在 630℃以上。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，液相粘度為 10^2.5dPa·s時的溫度為1535℃以下。

12.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，在將液相粘 度為10^2.5dPa·s時的溫度定為T₁(℃)，將應(yīng)變點定為T₂(℃)時，滿足 T₁-T₂≤880℃的關(guān)系。

13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，在將液相粘 度為10⁴dPa·s時的溫度定為T₃(℃)，將軟化點溫度定為T₄(℃)時， 滿足T₃-T₄≤330℃的關(guān)系。

14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，在80℃的 10％的HCl水溶液中浸泡24小時時，其侵蝕量為5μm以下。

15.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的無堿玻璃，其特征在于，在20℃的 含有130緩沖劑的氟酸溶液中浸泡30分鐘時，其侵蝕量為2μm以下。