[發(fā)明專利]壓電/電致伸縮膜型元件無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200780014505.1 | 申請(qǐng)日： | 2007-04-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101427393A | 公開（公告）日： | 2009-05-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 大西孝生;清水秀樹;恒岡克幸 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日本礙子株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01L41/09 | 分類號(hào)： | H01L41/09;H01L41/08;H01L41/187;H01L41/193;H02N2/00 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 張敬強(qiáng) |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 伸縮 元件 | ||
1.一種壓電/電致伸縮膜型元件，其特征在于，具備：
基板，其具備薄壁隔膜部和形成于其周圍的厚壁部；
下部電極，其以橫跨上述薄壁隔膜部和上述厚壁部的方式形成于上述基板之上；
壓電/電致伸縮膜，其形成于上述下部電極之上；以及，
上部電極，其具備形成為與上述薄壁隔膜部的平面形狀大致相似的平面形狀且以與上述薄壁隔膜部相對(duì)的方式設(shè)置于上述壓電/電致伸縮膜之上的上部電極主體部、以與該上部電極主體部連接的方式設(shè)置在上述壓電/電致伸縮膜之上且形成為比上述上部電極主體部更窄的寬度的連接部，
在上述上部電極主體部形成有由貫通孔或凹槽部構(gòu)成的惰性部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電/電致伸縮膜型元件，其特征在于，還具備：
輔助電極，其以橫跨上述薄壁隔膜部的端部和上述厚壁部且與上述下部電極隔離的方式形成于上述基板之上，并與上述連接部連接；以及，
輔助連接部，其設(shè)置成連接上述上部電極主體部和上述輔助電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電/電致伸縮膜型元件，其特征在于，
上述壓電/電致伸縮膜形成為：在寬度方向或與該寬度方向垂直的長度方向上，上述壓電/電致伸縮膜的尺寸相對(duì)于上述薄壁隔膜部的尺寸之比的值為0.95以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電/電致伸縮膜型元件，其特征在于，
上述薄壁隔膜部以及上述上部電極主體部的長度與寬度之比即縱橫比的值為1.2以上。
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