[發明專利]有源矩陣基板、液晶面板、顯示裝置、電視接收機

有效

• 申請號: 200780013043.1
• 申請日: 2007-03-30
• 公開（公告）號: CN101421663A
• 公開（公告）日: 2009-04-29
• 發明（設計）人: 津幡俊英;八木敏文
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G02F1/1345
• 分類號: G02F1/1345;G02F1/1333;G02F1/1343;G02F1/1368;G09F9/30
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

技術領域

本發明涉及液晶顯示裝置、各種EL顯示裝置等顯示裝置、和在這 些顯示裝置中所使用的有源矩陣基板。

背景技術

有源矩陣基板廣泛用于液晶顯示裝置、EL(Electro?Luminescence： 電致發光)顯示裝置等有源矩陣型顯示裝置中。一般的有源矩陣基板 在其顯示區域具有多個掃描信號線、多個數據信號線、和在它們的各 個交點設置的TFT(Thin?Film?Transistor：薄膜晶體管)，通過該TFT 從數據信號線向像素電極傳送適當的電位信號。此外，也存在一種有 源矩陣基板，其為了防止TFT斷開期間中的自行放電和TFT斷開電流 引起的影像劣化，或者為了傳送液晶驅動中的各種調制信號，在各個 像素區域(顯示區域)中具備保持電容配線。

但是，在顯示區域中形成的多個保持電容配線在設置在顯示區域 的周圍的非顯示區域中與共用配線(主配線)連接。例如，在圖37(a)、 圖37(b)所示的現有技術中，在非顯示區域中，各個輔助電容線811 通過接觸孔808與利用和數據線804同一層的導電膜所形成的集合輔 助電容線813(共用配線)連接(參照專利文獻1、2)。其中，作為相 關的公開文獻，可以列舉下述專利文獻3、4。

專利文獻1：日本國公開專利公報“特開2002-6773號公報(平成 14年(2002)1月11日公開)”

專利文獻2：日本國公開專利公報“特開平10-319433號公報(平 成10年(1998)12月4日公開)”

專利文獻3：日本國公開專利公報“特開平7-114044號公報(平 成7年(1995)5月2日公開)”

專利文獻4：日本國公開專利公報“特開平7-287252號公報(平 成7年(1995)10月31日公開)”

發明內容

此處，在上述現有技術中，各個輔助電容配線811與柵極線802 形成在相同的層，集合輔助電容線813(共用配線)形成在它們的上層 (與數據線804相同的層)，在非顯示區域中，集合輔助電容線813與 柵極線802(掃描信號線)交叉。因此，在該交叉部分，在柵極線802 上隔著絕緣膜803形成有集合輔助電容線813，為了確實防止柵極線 802與集合輔助電容線813的短路，對非顯示區域的絕緣膜803也要求 相應的厚度。

另一方面，如果絕緣膜803的厚度增加，則形成接觸孔時的蝕刻 深度增加，很容易發生因絕緣膜803的膜厚、膜質的偏差等引起的接 觸孔808的形成不良。例如，如果接觸孔形成位置的膜厚增大，則在 絕緣膜蝕刻時未切開孔，有可能存在導致各個輔助電容線811與集合 輔助電容線813接觸不良的情況。

此外，在非顯示區域中，對于使各個掃描信號線通過接觸孔與外 部連接用的引出配線連接的部分也存在同樣的問題。即，為了確實防 止引出配線與其它配線(例如，集合輔助電容線)的短路，對非顯示 區域的絕緣膜也要求相應的厚度，如果該絕緣膜的厚度增加，則形成 接觸孔時的蝕刻深度增加，很容易發生因絕緣膜的膜厚、膜質的偏差 等引起的接觸孔的形成不良。

本發明鑒于上述問題點而完成，其目的在于，提供一種在非顯示 區域中，能夠精度良好地連接兩個配線(例如，保持電容配線及其主 配線)，并且不易發生這些配線與其它配線(例如，掃描信號線)的短 路的有源矩陣基板。

本發明的有源矩陣基板，其具備多個保持電容配線和覆蓋它們的 絕緣膜，其特征在于：各個保持電容配線在非顯示區域中與位于絕緣 膜的上層的主配線通過接觸孔連接，上述絕緣膜在該接觸孔內(接觸 孔的開口下)具有挖通部分，與該挖通部分相鄰的區域的膜厚變小。 此外，本有源矩陣基板也可以說，其具備通過設置在非顯示區域中的 接觸孔連接的兩個配線、和與這些配線中的一個配線在相同的層上設 置且與另一個配線在非顯示區域中交叉的交叉配線，其特征在于：位 于上述兩個配線間的絕緣層具備用于形成上述接觸孔的挖通部、與挖 通部相接的第一膜厚部、和至少位于上述另一個配線與交叉配線交叉 的部分的膜厚比第一膜厚部大的第二膜厚部。例如，上述兩個配線是 保持電容配線及其主配線，交叉配線是掃描信號線。

上述結構可通過以下方式得到：在非顯示區域中，在上述絕緣膜 上預先形成局部膜厚變小的部分，并且挖通其一部分(例如中央部) 形成上述接觸孔(連接保持電容配線與主配線的接觸孔)。