[發明專利]用于光學特性補償的溫度不敏感型陣列波導光柵波分復用器及其制造方法

有效

• 申請號: 200780003149.3
• 申請日: 2007-02-27
• 公開（公告）號: CN101375192A
• 公開（公告）日: 2009-02-25
• 發明（設計）人: 李泰衡;金泰勳;李炯宰;俞炳權
• 申請（專利權）人: 坡因特可株式會社
• 主分類號: G02B6/28
• 分類號: G02B6/28
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種制造溫度不敏感型陣列波導光柵裝置的方法，該方法補償了 在對陣列波導光柵芯片的光路長度進行切分時由基板切分寬度引起的光 路長度的減量而導致的光學特性改變，該方法包括以下步驟：

設計用于陣列波導光柵芯片的光掩模的步驟，在該陣列波導光柵芯 片中，在待切分的相同的波導部分上增設具有附加光路長度的波導部分；

在平面基板上制備陣列波導光柵芯片的步驟，在該陣列波導光柵芯 片中，在待切分的相同的波導部分上增設具有附加光路長度的波導部分；

對陣列波導光柵芯片的光路進行切分，并且移除與所述基板的切分 切口寬度相等的光路長度的步驟；

將陣列波導光柵芯片的光路再對準的步驟；以及

增設由生成長度的5％～200％確定的附加光路長度的步驟，該生成長 度是所述基板的所述切分切口寬度與兩個對準的子芯片部件之間的間隙 之間的長度差。

2.一種制造溫度不敏感型陣列波導光柵裝置的方法，該方法補償了 在對陣列波導光柵芯片的光路長度進行切分時由基板切分寬度引起的光 路長度的減量而導致的光學特性改變，該方法包括以下步驟：

設計用于陣列波導光柵芯片的光掩模的步驟，在該陣列波導光柵芯 片中，在從包括初始輸入條形波導電路的待切分的初始波導部分偏移與 切分切口寬度相等的一定距離的位置處增設包括附加輸入條形波導電路 的波導部分；

在平面基板上制備陣列波導光柵芯片的步驟，在該陣列波導光柵芯 片中，在從包括所述初始輸入條形波導電路的待切分的所述初始波導部 分偏移與切分切口寬度相等的一定距離的位置處增設包括附加輸入條形 波導電路的波導部分；

對陣列波導光柵芯片的光路進行切分的步驟；

通過使用位置從待切分的所述初始波導部分偏移與切分切口寬度相 等的一定距離的附加輸入條形波導電路，將陣列波導光柵芯片的光路再 對準的步驟。

3.如權利要求2所述的制造溫度不敏感型陣列波導光柵裝置的方 法，該方法補償了光學特性改變，包括以下步驟之一：

將陣列波導光柵芯片的輸入波導中的一部分切分的步驟；

將陣列波導光柵芯片的輸入平板波導中的一部分切分的步驟；

將陣列波導光柵芯片的輸入條形波導電路與輸入平板波導之間的界 面中的一部分切分的步驟；

將陣列波導光柵芯片的輸入平板波導與陣列波導之間的界面中的一 部分切分的步驟；或者

將陣列波導光柵芯片的陣列波導中的一部分切分的步驟。

4.如權利要求2所述的制造溫度不敏感型陣列波導光柵裝置的方 法，該方法補償了光學特性改變，包括以下步驟：

在對所述陣列波導光柵芯片切分之前將輸出光纖或輸出光纖陣列附 接到輸出條形波導電路的步驟。

5.如權利要求2所述的制造溫度不敏感型陣列波導光柵裝置的方 法，該方法補償了光學特性改變，包括以下步驟：

在對所述陣列波導光柵芯片切分之前通過使用初始輸入條形波導電 路(1a)檢驗陣列波導光柵芯片的光學特性的步驟；

將輸入纖維或輸入纖維陣列對準并附接到從初始輸入條形波導電路 (1a)的位置移位的附加輸入條形波導電路(1b)和輸出條形波導電路 (2)的步驟。