[發(fā)明專利]用于調度半導體批次的系統

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200780001721.2
• 申請日: 2007-01-29
• 公開（公告）號: CN101361075A
• 公開（公告）日: 2009-02-04
• 發(fā)明（設計）人: E·迪克斯坦;A·德齊德齊克;R·伯達
• 申請（專利權）人: 國際商業(yè)機器公司
• 主分類號: G06F19/00
• 分類號: G06F19/00;G05B13/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 吳立明

技術領域

本公開內容涉及在半導體處理中調度批次(lot)。更具體地，本公開內容涉及為了操作員的檢查而顯示半導體處理工具的調度邏輯。

背景技術

在半導體制造中，每個半導體都是作為半導體批次或組(下文稱為“批次”)的一部分形成的。半導體批次由多個不同的處理工具來處理。

將半導體批次安排或調度到處理工具是一個動態(tài)過程。例如，在制造過程、原材料、處理工具和其他變量方面的條件可能改變，這導致了需要將半導體批次動態(tài)調度到處理工具。

每個處理工具根據一個或多個過程規(guī)則對半導體批次執(zhí)行特定的制造過程。該過程規(guī)則由服務管理器施加，該服務管理器通常稱作實時調度服務管理器或“管理器”。該服務管理器是關于將要采取的適當調度步驟(例如，特定批次應該傳遞到哪個工具)做出決定的自動系統。而且，服務管理器考慮操作員輸入的覆蓋(override)條件或過濾器。

服務管理器基于每個工具的操作特性以及其與給定批次發(fā)生關系的方式來應用調度規(guī)則。調度規(guī)則可能出于多種原因從調度列表(即，列出將要由工具處理的批次的列表)中移除批次。這些原因包括：工具設置優(yōu)化、等待批量邏輯更新或對管理器上的在制品(WIP)平衡要求做出補償。

在某些情況中，調度規(guī)則和/或過濾器有意地使批次不被處理，從而使工具空閑一段時間。然而，工具的用戶/操作員無法分辨具有空的調度列表的工具是被有意設計為空閑狀態(tài)，還是應該做些事情以使一個或多個批次可調度到該工具。

對于調度規(guī)則的邏輯的可視性不是實時可用的，因為已經將服務管理器優(yōu)化為快速執(zhí)行調度規(guī)則。對于制造操作來說，了解批次不能被調度的原因是重要的，因為一旦了解了原因，就可以知道做什么可以使空閑的批次可用以及更好地利用工具。

因此，本申請已經確定的是需要一種實時顯示以利用解釋代碼來示出被調度的批次的狀態(tài)。

發(fā)明內容

提供了一種用于在多個工具之間調度多個半導體批次的系統。所述系統包括調度服務器管理器以及調度綜合器和顯示設備。調度綜合器和顯示設備向所述管理器傳遞調度請求，并且從所述管理器接收調度列表。所述管理器查詢所述多個半導體批次的處理狀態(tài)并且顯示調度列表以響應所述處理狀態(tài)。所述調度列表包括與所述處理狀態(tài)有關的相關原因和/或代碼。

還提供了一種用于在多個工具之間調度多個半導體批次的系統，所述系統包括調度綜合器和顯示器、調度服務管理器和解釋基礎設施。所述調度服務管理器將所述多個半導體批次調度到多個調度器。所述調度服務管理器與所述調度綜合器和顯示器進行電通信。所述解釋基礎設施與所述調度服務管理器進行通信。所述解釋基礎設施從所述調度服務管理器向所述調度綜合器和顯示器導出信息。所述信息包括所述多個半導體批次的調度狀態(tài)。

還提供了一種用于處理半導體批次的方法。所述方法包括對具有過濾器的調度服務器管理器進行編程，控制所述調度服務器管理器來根據所述過濾器確定是否在多個調度器中的至少一個調度器上調度所述半導體批次，以及如果所述調度服務器管理器沒有調度所述半導體批次，則控制所述調度服務器管理器在預定的時間幀內輸出原因代碼。

本發(fā)明還包括存儲在計算機可讀介質中的計算機程序產品，所述程序產品包括用于執(zhí)行本發(fā)明方法的計算機可執(zhí)行代碼。本發(fā)明還包括在計算系統中部署本發(fā)明的計算機程序產品的方法。

在下面，將更詳細地描述本發(fā)明的這些和其他方面。

附圖說明

圖1示出了根據本公開內容的系統的示例性實施方式；

圖2是根據本公開內容的用于實時的不可調度批次的解釋的方法：

圖3示出了根據本公開內容的調度服務器管理器的示例性實施方式；以及

圖4示出了根據本公開內容的輸出表格的示例性實施方式。

具體實施方式

參考附圖，尤其參考附圖1，示出了用于調度半導體批次的系統的示例性實施方式(“系統100”)。有優(yōu)勢地，系統100包括解釋基礎設施105，該解釋基礎設施105實時生成被調度的批次的狀態(tài)以及關于該狀態(tài)的解釋代碼，以便顯示給操作員。因此，系統100允許用戶修正和/或覆蓋系統內的規(guī)則以便提高制造吞吐量。