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[發明專利]鈰系研磨材料無效

專利信息
申請號: 200780001175.2 申請日: 2007-02-19
公開(公告)號: CN101356248A 公開(公告)日: 2009-01-28
發明(設計)人: 瓜生博美;山崎秀彥;小林大作;桑原滋 申請(專利權)人: 三井金屬鉱業株式會社
主分類號: C09K3/14 分類號: C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 代理人: 馮雅
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 研磨 材料
【權利要求書】:

1.鈰系研磨材料,其特征在于,它是相對于全部稀土類氧化物(TREO)的氧化鈰含量為95質量%以上的鈰系研磨材料,利用激光衍射·散射法測得的從小粒徑側開始的累積體積50%的粒徑(D50)值為1.3~4.0μm。

2.如權利要求1所述的鈰系研磨材料,其特征在于,通過基于Cu-Kα1射線的X射線衍射分析測定的氧化鈰的最大峰的半寬度以2θ計為0.1~0.5°。

3.鈰系研磨材料淤漿,其特征在于,含有權利要求1或權利要求2所述的鈰系研磨材料。

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