[發明專利]鈰系研磨材料無效
| 申請號: | 200780001175.2 | 申請日: | 2007-02-19 |
| 公開(公告)號: | CN101356248A | 公開(公告)日: | 2009-01-28 |
| 發明(設計)人: | 瓜生博美;山崎秀彥;小林大作;桑原滋 | 申請(專利權)人: | 三井金屬鉱業株式會社 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人: | 馮雅 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 研磨 材料 | ||
【權利要求書】:
1.鈰系研磨材料,其特征在于,它是相對于全部稀土類氧化物(TREO)的氧化鈰含量為95質量%以上的鈰系研磨材料,利用激光衍射·散射法測得的從小粒徑側開始的累積體積50%的粒徑(D50)值為1.3~4.0μm。
2.如權利要求1所述的鈰系研磨材料,其特征在于,通過基于Cu-Kα1射線的X射線衍射分析測定的氧化鈰的最大峰的半寬度以2θ計為0.1~0.5°。
3.鈰系研磨材料淤漿,其特征在于,含有權利要求1或權利要求2所述的鈰系研磨材料。
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