[實(shí)用新型]一種倍增光路的超聲懸浮場(chǎng)測(cè)量裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720311340.1
• 申請(qǐng)日: 2007-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN201188029Y
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李恩普;趙建林;鄭普超;邸江磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01H9/00
• 分類號(hào): G01H9/00;G02B27/10
• 代理公司: 西北工業(yè)大學(xué)專利中心
• 代理人: 王鮮凱

1.一種倍增光路的超聲懸浮場(chǎng)測(cè)量裝置，其特征在于：裝置包括激光器(12)，分束鏡(6)，二個(gè)擴(kuò)束裝置(5)、(7)，半透半反鏡(4)，全反射鏡(3)，凸透鏡(2)和面陣CCD(1)；在激光器(12)發(fā)出的光路中設(shè)置衰減器(11)和改變光路方向的全反射鏡(10)，之后設(shè)置形成第一光束和第二光束的分束鏡(6)；在第一光束的光路中，依次設(shè)置擴(kuò)束裝置(5)和全反射鏡(3)，待測(cè)超聲場(chǎng)位于光路中設(shè)置在擴(kuò)束裝置(5)和全反射鏡(3)之間，在擴(kuò)束裝置(5)與待測(cè)超聲場(chǎng)之間設(shè)置一個(gè)將物光反射到與第一光束方向垂直的另外一側(cè)的半透半反鏡(4)；在第二光束的光路中，設(shè)置一個(gè)將光束變?yōu)槠叫袇⒖脊獾臄U(kuò)束裝置(7)，在擴(kuò)束裝置(7)之后依次設(shè)置改變光路方向的全反射鏡(8)和半透半反鏡(9)；半透半反鏡(9)位于半透半反鏡(4)和凸透鏡(2)之間，在兩束光發(fā)生干涉后形成的光路中，依次設(shè)置將干涉圖樣成像的凸透鏡2和記錄數(shù)字全息圖的面陣CCD(1)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倍增光路的超聲懸浮場(chǎng)測(cè)量裝置，其特征在于：所述的分束鏡(6)為固定分光比分束鏡，或分光比可調(diào)分束鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倍增光路的超聲懸浮場(chǎng)測(cè)量裝置，其特征在于：所述的擴(kuò)束裝置(7)為擴(kuò)束鏡，或透鏡組。