[實用新型]行星齒輪式清洗裝置

無效

• 申請號: 200720201763.8
• 申請日: 2007-12-25
• 公開（公告）號: CN201127394Y
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 衣忠波;王欣;徐旭光
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: A46B13/02
• 分類號: A46B13/02;F16H37/00;F16H1/28
• 代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所
• 代理人: 朱麗巖

(一)技術領域

本實用新型涉及一種清洗裝置，特別是一種應用在半導體設備上的承片臺清洗裝置。

(二)背景技術

在國內外的半導體設備中，對承片臺的清洗工作主要采用的是直線滑塊式清洗裝置和滾輪式清洗裝置。直線滑塊式清洗裝置的缺點是對承片臺的清洗的效率低，結構占用空間較大；而滾輪式清洗裝置的缺點是承片臺清洗不均勻，尤其對于承片臺的中心部位不能夠進行很好的清洗，工作起來各有不同的缺點和問題。

(三)發明內容

本實用新型的目的是為半導體設備提供一種結構緊湊、運轉平穩、清洗均勻的旋轉式清洗結構。

為實現上述目的，本實用新型的解決方案是：

這種行星齒輪式清洗裝置，包括順序連接的電機、傳動機構和刷子，其特征在于：傳動機構為帶輪和齒輪雙軸傳動機構，電機1的輸出軸與小帶輪2固定，小帶輪2與大帶輪4由傳動帶17連接，大帶輪4與大軸5的上端固定連接，大軸5的中部由兩個大軸軸承14與軸套6連接，軸套6與大齒輪7固定連接，大齒輪7與小齒輪8嚙合，小齒輪與小軸9的一端固定連接，大軸5的另一端與一個雙連架10的一側固定在一起，小軸9的中部由兩個小軸軸承13支撐在雙連架10的另一側內部，小軸的另一端與刷子11固定連接。

優選的技術方案：上述大帶輪2與大軸5之間可由脹緊套3或花鍵固定連接。

上述軸套6的中部可設有凸臺，該凸臺與護罩18連接。

上述小軸的另一端可由刷座和螺栓與刷子11固定連接。

該結構中的大帶輪與大軸采用脹緊套連接，結構簡單，中心定位精度高。旋轉的大軸和小軸與軸套之間都采用了雙軸承設計，提高了結構旋轉剛度。

采用行星齒輪式的清洗結構，由于齒輪傳動的選用使結構更加緊湊，體積小，可以充分利用空間，所以結構尺寸非常緊湊。同時輪系中分布的行星輪齒承受載荷，行星齒輪公轉產生的離心慣性力與齒廓嚙合處的徑向力相平衡，使受力狀況較好，噪音較低，效率較高，清洗均勻。

刷子采用既自轉又公轉的設計，刷子就在小軸的帶動下，不斷地繞大軸公轉，同時刷子本身也不斷地繞小軸的軸線自轉，從而使機構能夠對半導體設備專用的承片臺或其它平面物體進行均勻的清洗。

(四)附圖說明

圖1是本實用新型的內部結構示意圖。

圖2是刷子工作原理示意圖。

圖3是本實用新型的外形結構示意圖。

附圖標記：1-電機、2-小帶輪、3-脹緊套、4-大帶輪、5-大軸、6-軸套、7-大齒輪、8-小齒輪、9-小軸、10-雙連架、11-刷子、12-承片臺、13-小軸軸承、14-大軸軸承、15-刷座、16-螺栓、17-傳動帶、18-護罩。

(五)具體實施方式

實施例如圖1、3所示，這種行星齒輪式清洗裝置，包括順序連接的電機、傳動機構和刷子，其特征在于：傳動機構為帶輪和齒輪雙軸傳動機構，電機1的輸出軸與小帶輪2固定，小帶輪2與大帶輪4由傳動帶17連接，大帶輪4與大軸5的上端由脹緊套3固定連接，大軸5的中部由兩個大軸軸承14與軸套6連接，軸套6與大齒輪7固定連接，大齒輪7與小齒輪8嚙合，小齒輪與小軸9的一端固定連接，大軸5的另一端與一個雙連架10的一側固定在一起，小軸9的中部由兩個小軸軸承13支撐在雙連架10的另一側內部，小軸的另一端由刷座和螺栓與刷子11固定連接。軸套6的中部可設有凸臺，該凸臺與護罩18連接。

這種新型行星齒輪結構的清洗裝置，主要由電機、帶輪、軸、齒輪、雙連架、刷子等幾部分組成，小帶輪2固定在伺服電機1的輸出軸端，小帶輪通過皮帶帶動大帶輪運動，大帶輪通過脹緊套與大軸連接，大軸與雙連架固定在一起，小軸同時與小齒輪和雙連架固定在一起，大齒輪與軸套固定在一起，并與小齒輪嚙合。通過同步帶傳動帶動大帶輪4旋轉，大軸5、雙連架10就實現了與大帶輪4的同軸線旋轉，同時小軸9就在雙連架10的帶動下，繞大軸5的軸線進行旋轉，在此同時，小軸9上固定的小齒輪8與軸套6上固定的大齒輪7進行嚙合，于是刷子11就實現了自旋轉。

工作過程中，伺服電機的輸出軸轉速為n₁，則小帶輪固定在輸出軸上，轉速也為n₁；小帶輪通過同步帶傳動帶動大帶輪旋轉，大帶輪獲得了轉速n₂，與大帶輪固定在一起的大軸、雙連架也具有了轉速n₂，同時，雙連架帶動小軸以及刷子繞大軸以轉速n₂旋轉，此時，小軸上固定的小齒輪與軸套上固定的大齒輪進行嚙合，從而使小軸自身產生了轉速為n₂自旋轉。

由圖2所示，刷子11的大小超過承片臺12的半徑，刷子就在小軸的帶動下，以轉速n₂繞大軸旋轉，同時刷子本身也不斷地以轉速n₃繞小軸的軸線旋轉。所以，在清洗的過程中，刷子以轉速n₂對承片臺進行清洗時，在承片臺的中心部位，刷子的線速度較低，但是由于刷子的大小超過承片臺半徑，此時刷子仍然具有一定大小的線速度，而且刷子以轉速n₃的自旋轉可以產生較大的線速度，能夠較好的彌補刷子以轉速n₂產生線速度較小的不足，從而能夠對承片臺的中心部位進行很好的清洗。