[實用新型]一種無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐無效
| 申請號： | 200720199128.0 | 申請日： | 2007-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN201138138Y | 公開（公告）日： | 2008-10-22 |
| 發明（設計）人： | 史珺;蔣君祥 | 申請（專利權）人： | 上海普羅新能源有限公司 |
| 主分類號： | F27B14/08 | 分類號： | F27B14/08;C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京必浩得專利代理事務所 | 代理人： | 李夢福 |
| 地址： | 200083上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 無需 移動 部件 多晶 硅分凝 鑄錠 | ||
1.一種無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，包含：
真空爐體；
設置在爐體中的坩堝(1)；
設置在坩堝(1)外側部的石墨支撐層(2)；
設置在坩堝(1)底部的均熱層(6)；
設置在坩堝(1)及石墨支撐層(2)外圍的加熱組件；
設置在底部加熱元件下面的均熱層(7)；
設置在加熱組件四周和頂部的保溫層(10)，爐體正常工作時該保溫層(10)與均熱層(7)相連；
設置在均熱層(7)下面的冷卻系統(8)。
2.如權利要求1所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的加熱組件包含：
位于坩堝(1)頂部的頂部加熱元件(3)；
位于均熱層(6)底部的底部加熱元件(4)；
位于石墨支撐層(2)四周的周邊加熱元件(5)。
3.如權利要求2所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述三組加熱元件(3、4、5)之間留有縫隙。
4.如權利要求1所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的坩堝四周還設置有測溫元件。
5.如權利要求1所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐還具有監控系統。
6.如權利要求1所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的真空爐體中在工作時充滿流動保護氣體。
7.如權利要求1所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的坩堝(1)為無上蓋的立方體或圓柱體形狀，即水平截面為方形或圓形。
8.如權利要求2所述的無需移動部件的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的周邊加熱元件(5)根據坩堝(1)的形狀對應圍成一個立方體的四個方形加熱面或圍成一個圓柱體的柱面。
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