[實用新型]一種多晶硅分凝鑄錠爐

無效

• 申請號: 200720198653.0
• 申請日: 2007-11-30
• 公開（公告）號: CN201133765Y
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 史珺;蔣君祥;水川;佟晨
• 申請（專利權）人: 上海普羅新能源有限公司
• 主分類號: F27B14/04
• 分類號: F27B14/04;F27B14/08;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京必浩得專利代理事務所
• 代理人: 李夢福

1.一種多晶硅分凝鑄錠爐，包含可分離的爐蓋(1)，爐身(2)和爐底裝置，其特征在于；

所述的爐身(2)內設置有硅料容納裝置和若干均勻分布的加熱裝置；

所述的硅料容納裝置通過連接機構(12)與爐底(3)連接固定；

所述的加熱裝置包含加熱元件(7)和控制該加熱元件(7)升降的運動控制裝置；

所述的爐底裝置包含爐底(3)，與該爐底(3)連接的升降裝置(5)，以及和該升降裝置(5)連接的水平移動裝置(4)。

2.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的硅料容納裝置包含坩堝(8)，及設置在坩堝(8)底部的均熱層(10)。

3.如權利要求2所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的均熱層(10)為石墨料臺。

4.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的加熱元件(7)為石墨棒。

5.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的多晶硅分凝鑄錠爐中還設置有爐體保溫層，其包含爐側保溫層(6)，以及設置在均熱層(10)底部的爐底保溫層(11)；該爐體保溫層為石墨氈。

6.如權利要求5所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的爐側保溫層(6)通過爐蓋(1)上的支架固定，通過滑動導軌升降。

7.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的多晶硅分凝鑄錠爐還包含一自動實時的控制爐內溫度變化和加熱元件升降速度的控制系統。

8.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的多晶硅分凝鑄錠爐還包含設置在爐身(2)內的保護氣體輸入裝置(13)，其通過設置在爐蓋(1)上的氣體導入接口連接固定。

9.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的多晶硅分凝鑄錠爐還包含設置在爐身(2)內的真空裝置(14)，其通過設置在爐蓋(1)上的氣體導入接口連接固定。

10.如權利要求1所述的多晶硅分凝鑄錠爐，其特征在于，所述的多晶硅分凝鑄錠爐還包含設置在坩堝(8)內的反應氣體輸入裝置(15)，其通過設置在爐蓋(1)上的氣體導入接口連接固定。