[實用新型]X熒光測厚光譜儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720196524.8
• 申請日: 2007-12-27
• 公開（公告）號: CN201177501Y
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發(fā)明（設計）人: 劉召貴;應剛;胡曉斌
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇天瑞信息技術有限公司
• 主分類號: G01B15/02
• 分類號: G01B15/02;G01N23/223
• 代理公司: 深圳市凱達知識產(chǎn)權(quán)事務所
• 代理人: 劉大彎

技術領域

本實用新型涉及一種微量元素檢測儀器，尤其是一種獨特的上照式設計，方便對尺寸范圍較大的部件上進行鍍層厚度和含量的逐點測量，并具有開放式樣品腔的X熒光光譜儀。

背景技術

本發(fā)明人于2006年申請了名稱為一種自動定位X熒光能量色散光譜儀的專利，專利申請?zhí)枮?00620014536.X。如圖1所示，該專利為一種真空檢測X熒光能量色散光譜儀，包括機身和與之相連的電腦，其中，所述機身內(nèi)安裝有光源系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)以及信號處理系統(tǒng)，其中，所述光源系統(tǒng)包括高壓單元和X光管，光源系統(tǒng)發(fā)射出X射線，X射線作用在樣品上后，樣品中的各個原子會被激發(fā)出特征X熒光，這些X熒光被探測器系統(tǒng)所接收，分析轉(zhuǎn)化為電信號，電信號經(jīng)過MCA模塊系統(tǒng)的處理，再傳輸?shù)诫娔X中，在機身和與之相連的電腦的用戶界面上顯示出來，其特征在于：所述真空檢測X熒光能量色散光譜儀的機身包括一金屬框架和一外殼，其中，所述光源放射系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)、以及信號處理系統(tǒng)均固定于所述金屬框架上，所述外殼罩在所述金屬框架外起保護作用，所述金屬框架的上部還設有一樣品臺，所述樣品放置于該樣品臺上，所述樣品臺、光源放射系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)、以及信號處理系統(tǒng)構(gòu)成一測量單元。

但本發(fā)明人經(jīng)過實踐，發(fā)現(xiàn)上述專利存在以下幾個方面的缺點需要改進：

一、該X熒光光譜儀，樣品腔設計為封閉式的樣品腔，在大尺寸樣品的測量時十分不便。

二、該X熒光光譜儀，沒有移動平臺這樣的裝置，在移動樣品時完全依靠手工操作。在移動距離很小時，很難達到微調(diào)的效果。

三、該X熒光光譜儀，針對不同的樣品調(diào)整準直器和濾光片時，都是手工進行操作，這樣每次都必須開蓋進行操作，可能會有灰塵進入光路系統(tǒng)，或者手動調(diào)整時是依靠人眼的標準，難免會有一些偏差，而這些偏差反應到測試樣品上，就會對測試結(jié)果產(chǎn)生影響。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述X熒光光譜儀的眾多缺點，本實用新型的目的是提供一種X熒光測厚光譜儀，采用獨特的上照式設計并具有開放式樣品腔的X熒光光譜儀。

本實用新型所采用的技術方案是：一種X熒光測厚光譜儀，包括機身和與之相連的電腦，所述機身包括外殼(1)、機身(2)和樣品腔(3)，其中，所述外殼(1)罩在所述機身(2)外面，所述樣品腔(3)設在所述機身(2)內(nèi)，其特征在于：所述樣品腔(3)包括可上下活動的透明屏蔽罩(4)。

所述機身內(nèi)設有樣品腔(3)，所述樣品腔包括升降平臺(33)、電機、導軌(31)和按鍵(32)，升降平臺(33)在電機拉動下，沿著導軌(31)上下平穩(wěn)地移動，移動的方向和距離通過按鍵(32)控制。

所述機身上設有支架和氣撐，所述透明屏蔽罩(4)與機身支架上的左、右氣撐連接，在左、右氣撐的力作用下，借助把手，沿著固定在支架上的導軌上下移動。

所述X熒光測厚光譜儀還設有移動平臺(5)，所述移動平臺(5)包括拉板(53)、切口(54)和導軌(55)，其中，所述移動平臺(5)裝配在兩層4條導軌(55)上，通過前面板上的中間的按鍵控制，移動平臺(5)可前后左右平穩(wěn)地移動，拉板(53)用來定位樣品，其上設有切口(54)，當待測點與豎直激光對齊后，手動扣住其上的切口。

所述X熒光測厚光譜儀設有準直器濾光片自動調(diào)節(jié)裝置(6)，該裝置包括電機(63)、準直器(61)和濾光片(62)。通過兩頭的兩個電機(63)驅(qū)動，其中一個電機往左拉動準直器，另一個電機往右拉動濾光片，精確定位準直孔與濾光片。

本實用新型的有益效果是：

第一、采用獨特的上照式設計，結(jié)合可上下移動的結(jié)構(gòu)，以及精準的移動平臺裝置，通過三維精確定位樣品測量點，方便對尺寸范圍較大的部件上進行鍍層厚度和含量的逐點測量。

第二、設有自動切換準直器和濾光片調(diào)節(jié)裝置，最大限度減少人操作的麻煩性和不精確性。

第三、有著精準的移動平臺裝置，通過X與Y兩個軸精確定位樣品，給客戶提供方便。

第四、設有開放式樣品腔，可上下活動的玻璃屏蔽罩，既避免了測試的X射線外泄，又方便測量。

附圖說明

圖1本實用新型透明罩及升降平臺上移圖；

圖2本實用新型整體示意圖；

圖3本實用新型內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4本實用新型透明罩沿著固定在支架上的導軌上下移動示意圖；

圖5本實用新型移動平臺結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6本實用新型準直器濾光片自動調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。