[實用新型]修整可控型超精密拋光機

無效

• 申請號: 200720191668.4
• 申請日: 2007-11-20
• 公開（公告）號: CN201115929Y
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 袁巨龍;鄧乾發;陳鋒;陶黎;方海生;王志偉;呂冰海;楊翊
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B41/04;B24B47/12
• 代理公司: 杭州天正專利事務所有限公司
• 代理人: 王兵;王利強

1、一種修整可控型超精密拋光機，包括機座、拋光盤、拋光盤驅動電機、測速機構和智能控制平臺，所述的拋光盤通過主軸安裝在機座上，所述拋光盤驅動電機的輸出軸與主軸傳動連接，所述主軸與測速機構傳動連接，所述的機座上安裝支架板，所述的支架板安裝基盤保持架，所述的基盤保持架設有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段上安裝有摩擦輪，摩擦輪個數至少為2個，基盤嵌入所述弧形段并靠接在摩擦輪上，且所述基盤與所述弧形段之間有間隙，所述的基盤位于拋光盤的上方；其特征在于：

所述的超精密拋光機還包括修整環、直線導軌、往復運動驅動機構、徑向移動驅動電機以及旋轉驅動電機，所述的兩根直線導軌水平安裝在支架板的下方，所述的徑向移動驅動電機安裝在支架板上，所述的徑向移動驅動電機與往復運動驅動機構傳動連接，所述往復運動驅動機構可水平滑動地套裝在直線導軌上，所述的修整環安裝在往復運動驅動機構的下方，所述旋轉驅動電機與往復運動驅動機構固定連接，所述旋轉驅動電機的輸出軸與修整環傳動連接，所述的修整環位于拋光盤的基盤覆蓋以外區域的上方；

所述的智能控制平臺連接拋光盤驅動電機、測速機構、徑向移動驅動電機和旋轉驅動電機。

2、如權利要求1所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的往復運動驅動機構下方安裝套管，所述套管下端安裝修整環，所述的拋光墊修整機構還包括修整加載裝置，所述修整加載裝置垂直安裝在往復運動驅動機構上，所述的修整加載裝置連接壓力調節螺桿，所述的壓力調節螺桿與修整環球頭連接，所述的壓力調節螺桿安裝在套管內，所述的智能控制平臺連接修整加載裝置。

3、如權利要求2所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述基盤保持架安裝在直線導軌的下方，基盤加載裝置安裝在基盤保持架上，所述的基盤加載轉置連接壓力調節螺桿，所述的壓力調節螺桿與基盤球頭連接，所述的智能控制平臺連接基盤加載裝置。

4、如權利要求1-3之一所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的往復運動驅動機構包括徑向移動距離調節板和行程調節板，

所述的徑向移動驅動電機的輸出軸與徑向移動距離調節板固定連接，所述的徑向移動距離調節板的一端通過滾輪與行程調節板上溝槽配合，所述行程調節板可水平滑動地套裝在直線導軌上，所述的修整環安裝在行程調節板的下方，所述旋轉驅動電機與行程調節板固定連接。

5、如權利要求4所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的溝槽有至少兩個以上，所述至少兩個以上的溝槽呈相互平行布置；所述的徑向移動距離調節板上設有矩形槽，所述的徑向移動驅動電機的輸出軸通過螺釘固定安裝在所述矩形槽上。

6、如權利要求3所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的修整加載裝置和基盤加載裝置為氣動加載裝置或液壓加載裝置。

7、如權利要求4所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的測速機構為光柵測控系統。

8、如權利要求1-3之一所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的拋光盤驅動電機的輸出軸上設有主動齒輪、所述主動齒輪通過同步帶連接被動齒輪，所述被動齒輪安裝在主軸上；所述的主軸底端連接附加齒輪，所述附加齒輪通過傳動帶連接測速機構的輸入軸。

9、如權利要求8所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述的超精密拋光機包括至少一個修整環和一個基盤，所述的各個修整環、基盤分別位于拋光盤的不同區域。

10、如權利要求4所述的修整可控型超精密拋光機，其特征在于：所述旋轉驅動電機的輸出軸上設有主動齒輪、所述主動齒輪通過同步帶連接被動齒輪，所述被動齒輪安裝在所述的往復運動驅動機構上的軸上，所述的被動齒輪套接有拔桿，所述的拔桿同時也套接修整環上面，所述的拔桿在2π弧度范圍內有至少三個以上。