[實用新型]四極質譜計相對靈敏度校準系統

無效

• 申請號: 200720191021.1
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN201152868Y
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 王榮宗;陳聯;陳光奇;溫永剛;葛瑞宏;王麗紅
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所
• 主分類號: G01N27/64
• 分類號: G01N27/64;H01J49/26
• 代理公司: 北京理工大學專利中心
• 代理人: 張利萍

1、四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：該系統由被校四極質譜計(5)、質譜室(7)、高真空壓力測量規(8)、進樣系統、高真空抽氣系統、控制臺和計算機(4)組成，由進樣系統向質譜室內提供已知組份含量的混合氣體，被校四極質譜計對質譜室內的進樣氣體組份含量進行測量，計算機利用已知氣體組份含量和被校四極質譜計的氣體組份含量測量結果進行分析，得到被校四極質譜計對被校氣體的校準因子和校準不確定度。

2.根據權利要求1所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：被校四極質譜計是通過標準CF35法蘭連接到質譜室上，采用帶有RS232接口的數據線與計算機相連；如果被校四極質譜計的接口形式不是標準CF35法蘭接口，需根據具體型號的要求加工過渡接頭。

3.根據權利要求1所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：質譜室采用球形結構，用不銹鋼材料制作，尺寸可根據具體需要設計；在它的頂部留有高真空壓力測量規(8)法蘭接口，在底部采用標準CF250法蘭與插板閥(14)相連，在球的赤道處對稱留有被校四極質譜計(5)的法蘭接口和進樣管道(10)的法蘭接口。

4.根據權利要求1所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：高真空壓力測量規通過標準KF25法蘭與質譜室(5)相連，規的壓力測量范圍要求為：1×10^-1Pa～1×10^-7Pa，校準不確定度要求小于10％，可選用冷陰極電離規或電容薄膜規。

5.根據權利要求1所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：進樣系統由散射球(9)、進樣管道(10)、進樣閥(11)、進樣接口(12)和進樣抽空管道(13)組成；散射球(9)選用不銹鋼材料制造，為球形結構，表面均勻分布了128個直徑φ1mm的小孔，采用焊接的方式與進樣管道(10)相連；進樣管道(10)選用不銹鋼材料制造，直徑、長度根據質譜室的尺寸確定；安裝方式為一端采用焊接結構與進樣閥相連，另一端采用過渡法蘭、通過焊接的方式與散射球相連，過渡法蘭上采用激光打孔的技術開有小孔；進樣閥(11)選用高精度真空壓力調節閥，一端通過焊接的方式與進樣管道(10)相連，另一端通過法蘭與進樣接口(12)相連；進樣接口(12)為不銹鋼材料制作的三通結構，一端通過法蘭與進樣閥(11)相連，一端通過法蘭與進樣抽空管道(13)相連，一端用法蘭與進樣氣瓶相連；進樣抽空管道(13)一端通過法蘭與進樣接口相連，另一端通過標準KF25法蘭與質譜室抽空管道(16)相連。

6.根據權利要求1所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：高真空抽氣系統由插板閥(14)、分子泵1(15)、質譜室抽空管道(16)、分子泵2(17)和機械泵(18)組成；插板閥(14)通過法蘭分別和質譜室(7)和分子泵1(15)連接；分子泵1(15)的抽氣速度為450l/s，入氣口端通過法蘭和插板閥(14)相連，出氣口端通過法蘭和質譜室抽空管道(16)相連；質譜室抽空管道(16)選用不銹鋼材料制作的三通結構，通過法蘭分別與分子泵1(15)、分子泵2(17)和進樣抽空管道(13)相連；分子泵2(17)的抽氣速度為110l/s，入氣口端通過法蘭與質譜室抽空管道(16)相連，出氣口端通過法蘭與機械泵(18)相連；機械泵(18)的抽氣速度為4l/s，入氣口端通過法蘭與分子泵2(17)相連。

7.根據權利要求1所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：控制臺由分子泵1控制電源(1)、分子泵2控制電源(2)、系統控制柜(3)組成；分子泵1控制電源(1)通過螺釘固定安裝在系統控制柜(3)內；分子泵2控制電源(2)通過螺釘固定安裝在系統控制柜(3)內，并位于分子泵1控制電源(1)的下方；系統控制柜(3)采用不銹鋼材料制作，具體尺寸根據需要制定，其面板上放安裝了計算機(4)和質譜室(7)，內部安裝了分子泵1控制電源(2)、分子泵2控制電源(2)、插板閥(14)、分子泵1(15)、質譜室抽空管道(16)、分子泵2(17)和機械泵(18)。

8.根據權利要求7所述的四極質譜計相對靈敏度校準系統，其特征在于：計算機選用通用的便攜式電腦，要求具有RS232數據接口，使用時需通過帶有RS232接口的數據線與被校四極質譜計相連，校準前將被校四極質譜計的分析軟件安裝在電腦上。