[實用新型]一種恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室

無效

• 申請號: 200720191010.3
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN201203503Y
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 張滌新;馮焱;李得天;盧耀文;成永軍;趙光平
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所
• 主分類號: G01M3/28
• 分類號: G01M3/28;G01F11/02
• 代理公司: 北京理工大學專利中心
• 代理人: 張利萍

技術領域

本實用新型涉及一種恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室，屬于真空計量領域。

背景技術

文獻“恒壓式正壓漏孔校準裝置的設計，《真空科學與技術學報》第27卷、2007年第5期、第442頁～445頁”，介紹了恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室的一種設計方法。該方法采用一段管道作為變容室，管道長度為50mm，管道直徑為6mm。變容室和定容室之間連接了一個閥門，在利用變容室測量流量時，這個閥門實際上是打開的，此時定容室和變容室聯為一體共同作為變容室。定容室用直徑4mm的不銹鋼管加工，長度小于500mm。變容室與活塞的密封材料是聚四氟乙烯密封圈，沒有說明密封的機械結構。

這種方法的不足之處就是變容室管道直徑較大，不利于減小變容室容積，導致測量下限較差；使用變容室測量流量時，變容室與定容室是連通的，由于連接閥門的存在，增大了變容室的容積；定容室管道的總長度要求小于500mm，不便于正壓漏率、活塞及電機、電容薄膜規等設備的安裝；沒有說明活塞與變容室的機械密封結構。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室，變容室管道直徑變小，活塞與變容室管道具有更好的動密封連接效果，采用這種變容室，可以擴展測量下限，提高測量精度。

本實用新型的技術解決方案是：一種恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室，由螺母1、10，管道2、9，變容室主體3，變容室內孔4，活塞卡套接頭5，內孔通道6、8，檔板7組成。活塞卡套接頭5由聚四氟乙烯套筒11，卡套底座12，卡套13，螺母14，活塞15，卡套管道16組成。

一種恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室的連接關系為：

變容室主體3左側的螺母1與管道2連接，螺母1上安裝上一個三通接頭，分別連接正壓漏孔和差壓式電容薄膜規；管道2的截面直徑小于4mm，長度小于20mm，管道2焊接在變容室主體3的側面，與變容室內孔4相連通，變容室主體3的外型為立方體，用不銹鋼加工，變容室內孔4在變容室主體3內，沿長度方向，截面直徑小于2mm，檔板7焊接在變容室主體右側，與變容室內孔4密封；活塞卡套接頭5通過卡套管道16焊接在變容室主體3的上面，卡套管道16與內孔通道6相連通，內孔通道6截面直徑小于2mm，內孔通道6與變容室內孔4相連通，管道9焊接在變容室主體3的一側，管道9截面直徑小于4mm，長度小于20mm，管道9與內孔通道8相連通，內孔通道8截面直徑小于2mm，與變容室內孔4相連通，螺母10與管道9連接，在螺母10上安裝一個四通接頭，分別連接絕壓式電容薄膜規、氣瓶和抽氣機組。

活塞卡套接頭5的連接關系是：螺母14與卡套管道16的螺紋連接，卡套底座12，卡套13套在聚四氟乙烯套筒11的外側，活塞15插入聚四氟乙烯套筒11內孔，卡套底座12，卡套13、聚四氟乙烯套筒11、活塞15連為一體，安裝在卡套管道16的連接處，通過擰緊螺母14，實現活塞15與卡套管道16的動密封連接。

一種恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室的工作方式：

(1)用抽氣機組通過四通接頭對變容室內孔4、內孔通道6、8和管道2、9抽真空，然后再用氣瓶通過四通接頭對之充入一個大氣壓的氮氣。

(2)正壓漏孔漏出的氣體通過三通接頭流入到變容室內孔4、內孔通道6、8和管道2、9中，引起壓力上升，上升值用差壓式電容薄膜規測量。

(3)根據差壓式電容薄膜規的測量數據，采用PID控制方法，控制活塞15運動，保持在測量過程中變容室內孔4內的壓力始終為一個大氣壓。

(4)通過測量活塞的移動速度、移動距離、橫截面積以及變容室內孔4內部的氣體壓力，計算出正壓漏孔的漏率。

本實用新型與現有技術相比的有益效果是：

(1)增大了變容室的外部體積，有利于壓力測量設備、活塞及控制電機和真空閥門等設備的安裝；

(2)減小了變容室的內部容積，可以使流量測量下限達到5×10^-6Pa·m³/s及以下。

(3)提高了活塞與變容室的動密封連接性能，減小了漏、放氣，有利于測量精度的提高。

附圖說明

圖1是本實用新型恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室的俯視剖面示意圖。

圖2是本實用新型恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室的側剖示意圖。

圖3是本實用新型恒壓式正壓漏孔校準裝置變容室活塞與變容室連接卡套接頭結構示意圖。