[實用新型]一種便攜式紫外臭氧光清洗機

無效

• 申請號: 200720190148.1
• 申請日: 2007-11-14
• 公開（公告）號: CN201120389Y
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 向軍輝;邢麗;陳中;梁小紅;向前
• 申請（專利權）人: 中國科學院研究生院
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B11/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

技術領域

本實用新型涉及對材料、器件等表面進行原子級別清洗的一種便攜式紫外臭氧光清洗機，屬于原子級清潔度清洗的工藝加工設備。

背景技術

在傳統的清洗技術(化學清洗和物理清洗)中，經常很難達到超潔凈的要求，而紫外光清洗是一種非接觸式的干法清洗技術，一方面能避免由于使用有機溶劑造成的污染，同時能夠將清洗過程縮短，最重要的是能使清洗效果大大提高，達到超潔凈的程度。紫外臭氧光清洗的工作原理是利用紫外光子對有機物質所起的光敏氧化作用以達到清洗粘附在物體表面上的有機化合物(碳氫化合物)的目的。在實際應用中，通常是利用一種能產生兩種波長(254nm、185nm)的紫外光，大多數有機化合物對其中254nm波長的紫外光有較強的吸收能力，它們在吸收了紫外光之后，分解為離子、游離態原子、受激分子和中性分子，即光敏作用，而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產生臭氧(O₃)和原子氧(O)，產生的O₃對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又會分解為氧氣和原子氧，由于原子氧極其活潑，物體表面上的碳氫化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可揮發性氣體：二氧化碳、氮氣和水蒸氣等逸出物體表面，從而達到徹底清除粘附在物體表面上有機物質的目的。

另外，在紫外光照射樣品表面將有機物分解的同時，會將樣品表層的化學結構切斷，極其活潑的原子氧與被切斷的表層分子結合，并將之轉換成高度親水的基團(如-OH，-CHO，-COOH)，從而提高樣品表面的親水性，達到改質的目的。

近年來開始出現基于以上原理制造的工業用紫外光清洗機。如日本的專利平-12743；平-120950；昭61-194830以及我國ZL00105842.8；ZL03149541.9等。

把光清洗從原理轉化為簡單實用的設備必須突破許多關鍵技術，特別是光源和清洗環境。紫外燈管發出的兩種波長(254nm，185nm)的紫外光的比例、強度，燈管間的距離，燈管與樣品之間的距離等都會影響紫外光輻照樣品的強度及均勻性，從而影響清潔的程度。另外，樣品周圍的臭氧濃度是影響光清潔效果的另一個重要因素。近年來出現的一些工業用紫外清洗機體系龐大，附有工件載送、冷卻、電子控制等系統，相對更適用于工業上大器件的清洗，而對于實驗室中的研究工作并不實用。

實用新型內容

本實用新型的目的是公開一種便攜式紫外臭氧光清洗機，是采用紫外光為光源，供實驗室用的紫外臭氧光清洗機，其控制使用靈活方便、清洗效果穩定可靠、體積小。

為達到上述目的，本實用新型的技術解決方案是：

一種便攜式紫外臭氧光清洗機，其外殼和門圍成一容腔，門是側開門，在外殼和門接觸處設有密封圈，外殼底板下方設有四個支腳；其外殼上端側面有一進氣管，下端側面有一出氣管，進氣管和出氣管的內端分別與內部容腔相通，進氣管外端接通氧源，出氣管外端通大氣；

容腔為光離子化室，光離子化室的頂部向下凸伸有燈架，燈架上在容腔縱方向裝有至少一只紫外光源，紫外光源以導線與外殼外的紫外光源控制開關電連接，開關固設于外殼頂面；在紫外光源下方，光離子化室底板上中部兩側垂直固裝有兩樣品臺支撐架，兩樣品臺支撐架上端外側各水平固設一固定支架，固定支架的外端與外殼內側固連；

兩樣品臺支撐架內側可移動的水平固設一片狀樣品臺。

所述的清洗機，其所述可移動的水平固設一片狀樣品臺，是兩樣品臺支撐架內側各設一條形磁鐵，兩樣品臺支撐架為鐵制品，條形磁鐵水平吸附于兩樣品臺支撐架內側，一樣品臺的兩端分別置于兩條形磁鐵上；上下移動兩條形磁鐵，而使樣品臺上下移動定位；樣品臺支撐架的表面標有刻度標尺。

所述的清洗機，其所述進氣管，其管道中設有氣體流量計的傳感器，氣體流量計表頭固設于外殼頂面。

所述的清洗機，其所述燈架上在容腔縱方向相互平行地裝有三只長條形紫外光源，每一紫外光源分別以導線與外殼外的紫外光源控制開關電連接，每一紫外光源由開關分別單獨控制。

所述的清洗機，其所述紫外光源，發射254nm及185nm波長的紫外光。

本實用新型的有益效果是，所提供的便攜式紫外臭氧光清洗機結構簡單，裝置體積小、操作成本低，可在實驗室中使用，實現了一體化、微型化，便于攜帶。

附圖說明

圖1a是本實用新型的便攜式紫外臭氧光清洗機的正面剖視圖；

圖1b是本實用新型的便攜式紫外臭氧光清洗機的側面剖視圖。