[實用新型]一種爐體無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720187500.6 | 申請日: | 2007-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN201144301Y | 公開(公告)日: | 2008-11-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李麗文;張郁兵;王春苗 | 申請(專利權)人: | 北京古德高機電技術有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 北京方韜法業(yè)專利代理事務所 | 代理人: | 楊聚樓;吳景曾 |
| 地址: | 100024北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 | ||
技術領域
本實用新型涉及冶煉技術領域,尤其涉及一種爐體。
背景技術
多晶硅是提取單晶硅的原材料,多晶硅材料在爐體主室里,在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶,成行后需要提拉單晶硅爐副室和主室蓋。其原理也適用于多晶硅的生產過程。
目前主要使用卷揚機和鋼絲繩來提拉單晶硅爐副室和主室蓋,由于鋼絲繩是柔性傳動,當提拉時,會產生晃動,使副室里的單晶硅斷裂,并且兩根鋼絲繩受力不均,會使副室產生傾斜,同樣會使單晶硅或多晶硅產生斷裂,而且鋼絲繩沒有行程限制,不能使副室和主室蓋準確定位。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提出一種爐體,用于生產單晶硅或者多晶硅,不但可以保證單晶硅、多晶硅產品的質量和安全,而且可以很好地控制副室和主室蓋的行程。
為達此目的,本實用新型采用以下技術方案:
一種爐體,用于生產單晶硅或者多晶硅,包括副室1、主室蓋2、主室3、副室筒8、主室蓋筒9和電動推桿6,所述副室筒的下半部中空,所述主室蓋筒為中空的筒件,所述副室通過支撐架和所述副室筒固定,所述主室蓋通過支撐架與所述主室蓋筒固定,所述電動推桿可以穿過所述主室蓋筒與所述副室筒接觸,所述副室筒、主室蓋筒和電動推桿位于同一條直線上,并與所述副室、主室蓋、主室平行。
所述電動推桿進一步包括頂桿7、電機4和推動裝置5,所述電機和所述推動裝置連接,用于帶動所述推動裝置,所述頂桿下端連接所述推動裝置,上端穿在所述主室蓋筒的內部。
所述推動裝置進一步包括減速機、絲杠、螺母和外套筒,所述減速機和所述電機連接,所述絲杠一端連接所述減速機,另一端安裝所述螺母,所述螺母與所述頂桿一端通過螺紋連接,用于頂動所述頂桿,所述外套筒位于所述絲杠、螺母和頂桿的外部。
所述外套筒上安裝第一行程開關10和第二行程開關11,用于限定所述螺母的位移。
所述頂桿為凸字型桿件,上端直徑小于所述主室蓋筒的內徑和所述副室筒的下半部內徑,下端直徑大于所述主室蓋筒的內徑。
所述頂桿進一步包括頂桿底座和接桿12,所述頂桿底座和所述接桿通過卡銷連接,所述頂桿底座直徑大于所述主室蓋筒的內徑,所述接桿直徑小于所述主室蓋筒的內徑和所述副室筒的下半部內徑。
采用了本實用新型的技術方案,由于電動推桿是剛性傳動,可以使爐體中副室和主室蓋升起、放下速度平穩(wěn),不易產生晃動,且能保持直線升降,多晶硅和單晶硅產品質量和安全均可以得到保證;電動推桿的行程控制,實現了到極限位置自動停止運動,提高了多晶硅和單晶硅提拉移動位置的可靠性。
附圖說明
圖1是本實用新型具體實施方式中爐體的結構示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術方案。
本實用新型的主要思想就在于,將電動推桿運用在單晶硅爐或多晶硅爐上,以推動副室或者主室蓋,因此將電動推桿和單晶硅爐或多晶硅爐相結合都屬于本實用新型的保護范圍之內。
圖1是本實用新型具體實施方式中爐體的結構示意圖。如圖1所示,該用于生產單晶硅或者多晶硅的爐體包括副室1、主室蓋2、主室3、副室筒8、主室蓋筒9和電動推桿6,電動推桿進一步包括頂桿7、電機4和推動裝置5,推動裝置進一步包括減速機、絲杠、螺母和外套筒,外套筒上安裝第一行程開關10和第二行程開關11。
副室、主室蓋和主室從上到下依次安裝,與地面垂直,副室通過支撐架和副室筒固定在一起,主室蓋通過支撐架與主室蓋筒固定在一起,副室筒為下半部中空的筒體,主室蓋筒為全部中空的筒件。電動推桿的頂桿為凸字型桿件,上端直徑小于主室蓋筒的內徑和副室筒的下半部內徑,下端直徑大于主室蓋筒的內徑;或者頂桿進一步分為頂桿底座和接桿12,頂桿底座和接桿通過卡銷連接,頂桿底座直徑大于所述主室蓋筒的內徑,接桿直徑小于所述主室蓋筒的內徑和所述副室筒的下半部內徑。這樣電動推桿的頂桿就可以穿過主室蓋筒,插入副室筒的下半部,副室筒、主室蓋筒和電動推桿位于同一條直線上,與地面垂直,從而也與副室、主室蓋、主室平行。
電動推桿下部是電機和推動裝置,上部是頂桿,電機和推動裝置中的減速機連接,從而帶動減速機轉動,絲杠的下端連接在加速單元上,上端套著一個螺母,螺母通過螺紋固定頂桿,外套筒包圍著絲杠、螺母和頂桿,在外套筒的上面安裝了兩個行程開關,第一行程開關在電動推桿下方,第二行程開關在電動推桿上方。
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