[實(shí)用新型]細(xì)胞電生理集成芯片

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720184563.6
• 申請(qǐng)日: 2007-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN201110854Y
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王平;徐瑩;余輝;蔡華;劉清君;朱斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N33/48
• 分類號(hào): G01N33/48;G01N27/00;C12Q1/02;A61B5/04
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 林懷禹

1、一種細(xì)胞電生理集成芯片，其特征在于：在Si基底(2.1.1)正面中間集成MEA微電極陣列(2.2)，在MEA微電極陣列(2.2)兩側(cè)分別集成IDA叉指電極(2.1)和LAPS光尋址電位傳感器(2.3)，在MEA微電極陣列(2.2)另外兩側(cè)分別對(duì)稱設(shè)置參考電極(2.4)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種細(xì)胞電生理集成芯片，其特征在于：所述的IDA叉指電極(2.1)為梳狀的叉指電極對(duì)，單個(gè)叉指電極中間為暴露出的Au電極(2.1.5)以及下面Cr黏附層(2.1.4)，周圍高出部分為SiO₂或Si₃N₄絕緣保護(hù)層(2.1.3)，下面依次分別為SiO₂層(2.1.2)和Si基底(2.1.1)。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種細(xì)胞電生理集成芯片，其特征在于：所述的MEA微電極陣列(2.2)為6排正方形電極孔陣列，單個(gè)微電極結(jié)構(gòu)與前所述IDA叉指電極(2.1)的單個(gè)叉指電極結(jié)構(gòu)相同。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種細(xì)胞電生理集成芯片，其特征在于：所述的LAPS光尋址電位傳感器(2.3)結(jié)構(gòu)分為4層，依次分別為Si₃N₄層(2.3.3)，SiO₂層(2.3.2)，Si基底(2.1.1)以及Al層(2.3.1)。