[實用新型]一種拋光墊調節器及具有拋光墊調節器的化學機械裝置

無效

• 申請號: 200720181551.8
• 申請日: 2005-10-10
• 公開（公告）號: CN201244770Y
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 文卡塔·R·巴拉伽納;喬治·拉澤若;肯尼·金泰·尼格
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 趙 飛

1.一種拋光墊調節器，其特征在于，包括：

(a)基板，

(b)所述基板上的調節面，所述調節面包括彼此隔開并位于非研磨柵格中的研磨方塊的陣列。

2.根據權利要求1所述的拋光墊調節器，其特征在于，所述研磨方塊具有包括金剛石粒子的研磨粒子。

3.一種具有拋光墊調節器的化學機械裝置，包括如權利要求1所述的拋光墊調節器，其特征在于，還包括：

(i)拋光臺，其包括保持拋光墊的臺板、保持襯底抵靠所述拋光墊的支撐件、為所述臺板或支撐件提供動力的驅動器、以及在所述拋光墊上分散漿液的漿液分散器；

(ii)接納如權利要求1所述的墊調節器的調節器頭；和

(iii)驅動器，其為所述調節器頭提供動力以使得所述拋光墊調節器的所述調節面可以抵靠著所述拋光墊摩擦來調節所述拋光墊。