[實(shí)用新型]鍺單晶熱壓形變裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720177977.6
• 申請(qǐng)日: 2007-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201125281Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖紅文;陳東豐;勾成;張柏生;成之緒;李際舟;劉蘊(yùn)韜;孫凱;王洪立;余周香;吳展華;張莉;李眉娟;李峻宏;韓松柏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)原子能科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): C30B33/02
• 分類號(hào): C30B33/02;C30B28/08;C22F1/16
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.?一種鍺單晶熱壓形變裝置，包括加熱和控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力系統(tǒng)等幾部分，其中加熱和控溫系統(tǒng)由真空熱壓爐(8)和監(jiān)測(cè)爐膛溫度的熱電偶組成；真空系統(tǒng)由石英鐘罩(7)、真空泵(4)以及連接石英鐘罩(7)與真空泵(4)的管路組成；壓力系統(tǒng)是通過(guò)氣缸(5)驅(qū)動(dòng)推桿，同放置在石英鐘罩(7)內(nèi)的下模具相連，其特征在于：所述的真空熱壓爐(8)的爐口朝下，底部固定在沿滑軌(1)運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)裝置(2)上，所述的真空系統(tǒng)、壓力系統(tǒng)固定在操作平臺(tái)(9)上。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：所述真空熱壓爐(8)與工位的布置是在一條直線上。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：所述真空熱壓爐(8)與工位的布置是沿圓周布置。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：真空熱壓爐(8)設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式或爐子專用一個(gè)冷卻工位。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：真空熱壓爐(8)所用的電爐絲(14)的功率應(yīng)該保證模具的升溫速度為870℃/50分鐘～870℃/30分鐘。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：真空熱壓爐(8)爐內(nèi)的恒溫區(qū)保證在裝載工件的初始狀態(tài)下整個(gè)模具所占據(jù)的區(qū)域內(nèi)溫度均勻，溫度精度為±5℃。

7.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：所述的石英鐘罩(7)直接放置在設(shè)有水冷夾套的操作平臺(tái)(9)的真空水冷法蘭(21)里。

8.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍺單晶熱壓形變裝置，其特征在于：所述的壓力系統(tǒng)包括上模、下模，分別是上平模具(15)、下平模具(16)，以及上彎模具(19)、下彎模具(20)，其中上平模具(15)、上彎模具(19)通過(guò)上平模具固定桿(17)固定在真空水冷法蘭(21)上；下平模具(16)、下彎模具(20)與下平模具推桿(18)相連，下平模具推桿(18)通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)閥(6)與氣缸(5)相連。