[實(shí)用新型]IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測(cè)系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720176042.6
• 申請(qǐng)日: 2007-09-20
• 公開（公告）號(hào): CN201084718Y
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林宜龍;陳有章;唐召來;張松嶺;斐小聽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 格蘭達(dá)技術(shù)(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京英特普羅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 齊永紅

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種全自動(dòng)IC料條激光打標(biāo)機(jī)，更準(zhǔn)確地說，涉及料條在輸送導(dǎo)軌上輸送過程中對(duì)其進(jìn)行方向檢測(cè)、批號(hào)檢測(cè)、打標(biāo)位置檢測(cè)和打標(biāo)質(zhì)量檢測(cè)的一種全自動(dòng)IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

打標(biāo)機(jī)廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的集成電路的表面打標(biāo)。根據(jù)使用要求的不同，IC行業(yè)使用的集成電路板有料條(組合芯片)或芯片(塊粒狀芯片)和晶圓三種形式。料條是由若干芯片組合而成的板料，對(duì)料條上的每一粒芯片打標(biāo)時(shí)，是直接通過輸送料條實(shí)現(xiàn)自動(dòng)打標(biāo)的。芯片是尺寸較小的塊粒狀料，是放在軌道托盤中，通過對(duì)軌道托盤的輸送實(shí)現(xiàn)芯片自動(dòng)打標(biāo)的。晶圓是直接在其上制作了多塊(粒)芯片的一塊薄薄的圓片，需要在整塊晶圓薄片上對(duì)其上的每一塊(粒)芯片的背面進(jìn)行打標(biāo)。

從上料箱進(jìn)入輸送導(dǎo)軌的料條，在打標(biāo)之前要進(jìn)行料條是否放反的方向檢測(cè)和該料條的產(chǎn)品批號(hào)檢測(cè)；在打標(biāo)時(shí)要一邊檢測(cè)料條上芯片的位置，一邊根據(jù)所檢測(cè)的位置提供給PC機(jī)來控制激光打標(biāo)機(jī)的激光打標(biāo)頭對(duì)芯片進(jìn)行打標(biāo)；打標(biāo)完成后還要對(duì)打標(biāo)的質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)，只有打標(biāo)質(zhì)量合格的料條才允許推入下料箱進(jìn)行存放。目前使用的大多數(shù)激光打標(biāo)機(jī)，僅有上述檢測(cè)項(xiàng)目的一部分或還沒有設(shè)置檢測(cè)項(xiàng)目，一些項(xiàng)目需要人工檢測(cè)來完成，這種檢測(cè)辦法不僅工作效率低、勞動(dòng)強(qiáng)度大，而且檢測(cè)準(zhǔn)確性難于保證，使產(chǎn)品生產(chǎn)效率和質(zhì)量都受到較大影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有的打標(biāo)機(jī)存在的由于需進(jìn)行人工檢測(cè)而使得工作效率低、勞動(dòng)強(qiáng)度大的不足，提供一種由多種檢測(cè)裝置相結(jié)合的新型IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測(cè)系統(tǒng)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測(cè)系統(tǒng)，設(shè)置在料條輸送導(dǎo)軌的輸送線路上，包括方向檢測(cè)裝置、產(chǎn)品批號(hào)檢測(cè)裝置、打標(biāo)位置檢測(cè)裝置、打標(biāo)質(zhì)量檢測(cè)裝置，方向檢測(cè)裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)，產(chǎn)品批號(hào)檢測(cè)裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的前導(dǎo)軌一側(cè)，打標(biāo)位置檢測(cè)裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)并在其下方，打標(biāo)質(zhì)量檢測(cè)裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)。

優(yōu)選的是，所述的方向檢測(cè)裝置包括支架、設(shè)置在支架的掃描頭以及掃描頭正下方的發(fā)光器。所述的支架上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽，掃描頭的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在滑動(dòng)槽內(nèi)。

優(yōu)選的是，所述的產(chǎn)品批號(hào)檢測(cè)裝置包括支架和設(shè)置在支架上的掃描頭和發(fā)光器，發(fā)光器位于掃描頭的正下方，支架上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽，掃描頭和發(fā)光器的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在調(diào)整槽內(nèi)。

優(yōu)選的是，所述的打標(biāo)位置檢測(cè)裝置包括一個(gè)支架、設(shè)置在支架上的滾珠絲桿傳動(dòng)，以及安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)上的伺服電機(jī)；掃描頭和發(fā)光器安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)上，且發(fā)光器位于掃描頭的正上方。

優(yōu)選的是，所述的打標(biāo)質(zhì)量檢測(cè)裝置包括支架、設(shè)置在支架上的滾珠絲桿傳動(dòng)，以及安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)上的伺服電機(jī)；滾珠絲桿傳動(dòng)上安裝有掃描頭和發(fā)光器，且發(fā)光器位于掃描頭的正下方。

本實(shí)用新型的有益效果為：由四個(gè)檢測(cè)裝置所構(gòu)成的檢測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)打標(biāo)前、達(dá)標(biāo)中、打標(biāo)后的整個(gè)過程進(jìn)行全面的檢測(cè)，無需再對(duì)某些步驟進(jìn)行人工檢測(cè)，從而大大提高了工作效率，降低了工人的工作強(qiáng)度，同時(shí)檢測(cè)的精度也能夠得到保證。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的方向檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的產(chǎn)品批號(hào)檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的打標(biāo)位置檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的打標(biāo)質(zhì)量檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式