[實用新型]微型致動器

無效

• 申請號: 200720175808.9
• 申請日: 2007-09-11
• 公開（公告）號: CN201113827Y
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 洪銀樹;黃義佑
• 申請（專利權）人: 建凖電機工業股份有限公司
• 主分類號: H02N1/00
• 分類號: H02N1/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 王燕秋

技術領域

本實用新型涉及一種微型致動器，其通過減少平板與基板的接觸面積，來改善傳統微型致動器組件壽命短、驅動電壓高等缺點。

背景技術

微型風扇(Micro?Fan)包含有兩個部份，其一是以自我組裝技術(Self-assembly)制作的微風扇葉片，其二是以抓舉式致動器(Scratch?DriveActuator；SDA)或彈跳式致動器(Bounce?Drive?Actuator；BDA)作為轉子所組成的微型馬達(Micro?Motor)。

如圖1所示，以抓舉式致動器(Scratch?Drive?Actuator；SDA)為例說明其動作原理：

抓舉式致動器位于一基板12上，且其包含有一平板10與一軸襯11。

當平板10與軸襯11由電容式的結構形成時，可在平板10上得到靜電力，當一個具周期性的靜電力外加于平板10上時，平板10在基板12上便產生步進運動，如圖中b、c、d所示，即描述當外加方波時，微致動器的平板10與基板12之間的步進動作。

當外加一個正偏壓時，平板10因為靜電力而被基板12吸引，此稱之為折屈動作(snaping)，但是平板10前方具有軸襯11，使整個平板區域并不會完全吸附在基板12上，因此會有電荷暫存于平板10上，進而造成平板10具有彈性張力，當正偏壓加大到達吸附電壓(Priming?Voltage)時，平板10因為靜電力而產生較大變形，并大面積接觸基板12。

當電壓下降時，此彈性張力立即被釋放，使得平板10恢復原來的形狀，且在釋放電壓時，由于軸襯11一直與基板12接觸，會讓整個平板10前進。

再外加一個負偏壓時，平板10也會被基板12吸附而產生重復的動作，使平板10在基板12上連續動作。

因為，傳統的微型致動器平板10與基板12大面積的摩擦，故其間摩擦面積大相對磨損大，從而導致壽命短且驅動電壓高、耗電流大，同時存在有瞬間的反轉現象。所以，減少平板10與基板12的接觸面積，就是減少摩擦力，降低驅動電壓、延長組件壽命的關鍵。

發明內容

本實用新型的主要目的在于提供一種可以有效減少致動器平板與基板接觸面積的微型致動器。

為達到上述目的，本實用新型采用以下技術方案：一種微型致動器，位于一基板上，其包含一平板與一軸襯，其特征在于：所述平板后端與所述基板間的接觸呈非面接觸。

上述本實用新型的技術方案中，所述平板后端與所述基板之間呈線接觸。

上述本實用新型的技術方案中，所述平板后端與所述基板之間呈點接觸。

上述本實用新型的技術方案中，所述平板后端為漸縮的三角形型態。

上述本實用新型的技術方案中，所述平板后端為圓弧型態。

上述本實用新型的技術方案中，所述平板后端的底面具有至少一個以上的突點。

采用以上技術方案，本實用新型的平板后端在接觸基板時，其間呈非面接觸，可有效降底摩擦、降低驅動電壓并延長組件壽命。

附圖說明

圖1是傳統微型致動器的動作圖；

圖2是本實用新型第一種實施型態的動作圖；

圖3是本實用新型第二種實施型態的動作圖；

圖4是本實用新型第三種實施型態的動作圖。

具體實施方式

為了詳細說明本實用新型的結構、特點及所達到的功效，現舉以下較佳實施例并配合附圖說明如下。

如圖2所示，微致動器位于一基板22上，其包含一平板20與一軸襯21，其中，平板20的后端形成漸縮的三角形型態。

當外加一個正偏壓時，平板20因為靜電力而被基板22吸引，使得平板20端點接觸基板22，且因為平板20接觸基板22的摩擦力小于軸襯21對基板22的摩擦力，平板20僅以后端的極小面積接觸基板22，進而造成軸襯21被擠壓和內縮而具有彈性張力。

由于平板20僅與基板22作非面性接觸，而且向后彈跳時，平板20向上彎曲使軸襯21與基板22的摩擦減小，再加上本實用新型微型致動器的平板20后端形成漸縮的三角形型態，所以當平板20后端接觸基板22時，其間為呈點接觸，可有效降底摩擦、降低驅動電壓并延長組件壽命。

再如圖3所示，為本實用新型第二種實施型態，其中平板20的后端形成圓弧型態，當平板20后端接觸基板22時，其間一樣為呈點接觸，可有效降底摩擦、降低驅動電壓并延長組件壽命。

又如圖4所示，為本實用新型第三種實施型態，該微型致動器位于一基板22上，其包含有一平板20與一軸襯21，而且平板20的后端底面具有至少一個以上的突點23。