[實用新型]直拉硅單晶制備用坩堝有效
| 申請號: | 200720173441.7 | 申請日: | 2007-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN201089804Y | 公開(公告)日: | 2008-07-23 |
| 發明(設計)人: | 張果虎;周旗鋼;戴小林;姜艦 | 申請(專利權)人: | 北京有色金屬研究總院有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/10 | 分類號: | C30B15/10;F27B14/00 |
| 代理公司: | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人: | 郭佩蘭 |
| 地址: | 10008*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 直拉硅單晶 制備 坩堝 | ||
【權利要求書】:
1.一種直拉硅單晶制備用坩堝,它包括:坩堝上部、與下軸連接的堝底、其特征在于:所述的坩堝上部為一加強圈,它支撐在堝底的凸臺上,該凸臺位于石英坩堝轉彎的下方。
2.根據權利要求1所述的一種直拉硅單晶制備用坩堝,其特征在于:所述的加強圈靠近石英堝的一側鑲一石墨做成的內側環。
3.根據權利要求2所述的一種直拉硅單晶制備用坩堝,其特征在于:所述的加強圈靠近石英堝的一側鑲一石墨做成的內側環,所述的內側環下部帶凹槽,凹槽內嵌入加強圈。
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